[发明专利]实现对于惯性传感器中的电磁干扰的鲁棒性的方案

权利要求书

1.一种抗电磁干扰的电容传感器系统，所述电容传感器系统包括：

电容芯，所述电容芯包括第一可变电容器、第二可变电容器、耦合至所述第一可变电容器的第一芯输出端、耦合至所述第二可变电容器的第二芯输出端、以及耦合所述第一可变电容器和所述第二可变电容器的公共节点；

差分放大器，所述差分放大器包括反相输入端和非反相输入端；

第一电容路径，所述第一电容路径位于所述第一芯输出端和所述差分放大器的所述输入端之间；

第二电容路径，所述第二电容路径位于所述第二芯输出端和所述差分放大器的所述输入端之间；

具有高态和低态的斩波系统，所述斩波系统将所述第一芯输出端和所述第二芯输出端耦合至所述差分放大器的所述输入端，

其中，在所述斩波系统处于所述高态时，向所述电容芯的所述公共节点施加正阶跃电压，并且所述斩波系统将所述第一芯输出端耦合至所述差分放大器的所述反相输入端并将所述第二芯输出端耦合至所述差分放大器的所述非反相输入端；并且

在所述斩波系统处于所述低态时，向所述电容芯的所述公共节点施加负阶跃电压，并且所述斩波系统将所述第一芯输出端耦合至所述差分放大器的所述非反相输入端并将所述第二芯输出端耦合至所述差分放大器的所述反相输入端。

2.根据权利要求1所述的电容传感器系统，其中，所述电容芯是微机电器件。

3.根据权利要求2所述的电容传感器系统，其中，所述第一电容路径包括第一接合线并且所述第二电容路径包括第二接合线。

4.根据权利要求1所述的电容传感器系统，其中，所述第一电容路径包括第一接合线并且所述第二电容路径包括第二接合线。

5.根据权利要求1所述的电容传感器系统，其中，按照将噪声从感兴趣的频带抹除的频率使所述斩波系统在所述高态和所述低态之间变化。

6.根据权利要求1所述的电容传感器系统，其中，按照跨越宽频率范围基本上均匀地抹除噪声的频率使所述斩波系统在所述高态和所述低态之间变化。

7.根据权利要求6所述的电容传感器系统，其中，按照随机的频率使所述斩波系统在所述高态和所述低态之间变化。

8.一种抗电磁干扰的电容传感器系统，所述电容传感器系统包括：

第一电容芯，所述第一电容芯包括第一可变电容器、第二可变电容器、耦合至所述第一可变电容器的第一芯输入端、耦合至所述第二可变电容器的第二芯输入端、以及耦合所述第一可变电容器和所述第二可变电容器的第一公共节点；

第二电容芯，所述第二电容芯包括第三可变电容器、第四可变电容器、耦合至所述第三可变电容器的第三芯输入端、耦合至所述第四可变电容器的第四芯输入端、以及耦合所述第三可变电容器和所述第四可变电容器的第二公共节点；

差分放大器，所述差分放大器包括反相输入端和非反相输入端；

第一电容路径，所述第一电容路径位于所述第一公共节点和所述差分放大器的所述输入端之间；

第二电容路径，所述第二电容路径位于所述第二公共节点和所述差分放大器的所述输入端之间；

具有高态和低态的斩波系统，所述斩波系统将所述第一公共节点和所述第二公共节点耦合至所述差分放大器的所述输入端，

其中，在所述斩波系统处于所述高态时，向所述第一电容芯的所述第一输入端和所述第二电容芯的所述第四输入端施加正参考电压，向所述第一电容芯的所述第二输入端和所述第二电容芯的所述第三输入端施加负参考电压，并且所述斩波系统将所述第一公共节点耦合至所述差分放大器的所述反相输入端并将所述第二公共节点耦合至所述差分放大器的所述非反相输入端；所述负参考电压与所述正参考电压具有基本相同的幅值和相反的极性；并且

在所述斩波系统处于所述低态时，向所述第一电容芯的所述第一输入端和所述第二电容芯的所述第四输入端施加负参考电压，向所述第一电容芯的所述第二输入端和所述第二电容芯的所述第三输入端施加正参考电压，并且所述斩波系统将所述第一公共节点耦合至所述差分放大器的所述非反相输入端并将所述第二公共节点耦合至所述差分放大器的所述反相输入端。

9.根据权利要求8所述的电容传感器系统，其中，所述第一电容芯和所述第二电容芯是微机电器件的一部分。

10.根据权利要求9所述的电容传感器系统，其中，所述第一电容路径包括第一接合线并且所述第二电容路径包括第二接合线。