[发明专利]具有局部背接触的太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.具有局部背接触的太阳能电池（1）的制造方法，该太阳能电池包括至少两层的电介质叠层（10），该至少两层的电介质叠层（10）至少包括与p型硅层（3）接触的AlOx的第一电介质层（11）和沉积在第一电介质层（11）上的第二电介质层（13），其特征在于，该方法包括在该电介质叠层（10）中形成至少一个局部开口（15）的步骤，在该局部开口的位置至少部分保留所述第一电介质层（11）。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中在该电介质叠层（10）中形成至少一个局部开口（15）的步骤包括激光烧蚀步骤。

3.根据权利要求2所述的制造方法，其中该烧蚀步骤采用脉冲持续时间小于几个纳秒的脉冲激光执行。

4.根据权利要求1至3中任何一项所述的制造方法，其中该第一电介质层（11）显示允许场效应钝化的负电荷。

5.根据权利要求1至4中任何一项所述的制造方法，其中该第一电介质层（11）在烧蚀后具有至少几个单层的厚度。

6.根据权利要求1至5中任何一项所述的制造方法，其中该AlOx的第一电介质层（11）在烧蚀后具有1nm至30nm之间的厚度。

7.根据权利要求1至6中任何一项所述的制造方法，其中该第二电介质层（13）由SiNx制成。

8.根据权利要求2至7中任何一项所述的制造方法，其中该烧蚀步骤采用在UV区域中辐射的、更具体地在355nm周围辐射的激光执行。

9.根据权利要求1至8中任何一项所述的制造方法，其中在该烧蚀步骤后进行在光伏电池的背面（19）上施加金属化层（17）的步骤。

10.根据权利要求9所述的制造方法，其中该施加金属化层（17）由基于Al的金属化方法执行。

11.根据权利要求1至9中任何一项所述的制造方法，其中在该施加金属化层（17）之后，通过在温度T>740℃的炉中烧制而在保留至少一个局部开口（15）的区域上执行背表面场（BSF）的形成。

12.根据权利要求1至9中任何一项所述的制造方法，其中在该施加金属化层（17）之后，进行退火步骤以在该背侧区域（19）上形成金属接触，例如在400℃。