[发明专利]分光传感器

说明书

技术领域

本发明涉及分光传感器。

背景技术

作为现有的分光传感器，已知有具备对应于光的入射位置而使规定的波长的光透过的干涉滤光（filter）部、使入射到干涉滤光部的光透过的光透过基板、检测透过了干涉滤光部的光的光检测基板的分光传感器。在此，干涉滤光部有时通过经由空腔层（cavity layer）而使一对镜层相对而被构成为法布里-珀罗型（例如参照专利文献1、2）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-58301号公报

专利文献2：日本特表平2-502490号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在以上所述那样的分光传感器中，因为空腔层是极为精致的层（例如由树脂材料构成的数百nm以下的层），所以如果外力作用于空腔层的话，则会有干涉滤光部的特性发生劣化的担忧。

因此，本发明的目的在于提供一种高可靠性的分光传感器。

解决问题的技术手段

本发明的一个观点的分光传感器具备：具有空腔层以及经由空腔层而相对的第1以及第2镜层并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部、被配置于第1镜层侧并且使入射到干涉滤光部的光透过的光透过基板、被配置于第2镜层侧并且检测透过了干涉滤光部的光的光检测基板；空腔层具有：被第1以及第2镜层夹持的滤光区域、在从光透过基板与光检测基板相对的方向看的情况下从滤光区域取得规定的距离来包围滤光区域的环状的包围区域、连接滤光区域的光检测基板侧的端部和包围区域的光检测基板侧的端部的环状的连接区域。

在该分光传感器中，在空腔层上滤光区域取得规定的距离而被环状的包围区域包围，滤光区域的光检测基板侧的端部和包围区域的光检测基板侧的端部被环状的连接区域连接。由此，在垂直于光透过基板与光检测基板相对的方向的方向上即使作用一些外力，该外力也会由包围区域以及连接区域而被缓冲，因而能够防止对滤光区域造成损坏。因此，该分光传感器是可靠性高的分光传感器。

在此，包围区域的光透过基板侧的端面与滤光区域中的第1镜层的形成面中最接近于光透过基板的部分为大致相同高度，或者也可以比该部分更位于光透过基板侧。由此，在平行于光透过基板与光检测基板相对的方向的方向上即使作用一些外力，该外力也会由包围区域而被挡住，能够防止对滤光区域造成损坏。

另外，连接区域的光透过基板侧的端面与滤光区域中的第1镜层的形成面中最接近于光检测基板的部分为大致相同高度，或者也可以比该部分更位于光检测基板侧。由此，在垂直于光透过基板与光检测基板相对的方向的方向上即使作用一些外力，也能够防止该外力直接作用于滤光区域中的第1镜层的形成面。

另外，分光传感器也可以进一步具备以与第1镜层相对的方式被形成于光透过基板上并且使规定的波长范围的光透过的光学滤光层。由此，能够效率良好地使规定的波长范围的光入射至干涉滤光部。

发明的效果

根据本发明，能够提供高可靠性的分光传感器。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的分光传感器的纵截面图。

图2是图1的分光传感器的空腔层的平面图。

图3是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图4是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图5是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图6是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图7是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图8是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图9是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图10是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图11是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图12是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图13是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图14是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图15是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图16是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图17是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。

图18是用于说明图1的分光传感器的制造方法的纵截面图。