[发明专利]不含甲醛的化学镀镀铜溶液有效
| 申请号: | 201280049015.6 | 申请日: | 2012-10-01 |
| 公开(公告)号: | CN104040026B | 公开(公告)日: | 2019-01-01 |
| 发明(设计)人: | E·施泰因豪泽;S·勒泽勒;S·维泽;T·C·L·阮;L·施坦普 | 申请(专利权)人: | 埃托特克德国有限公司 |
| 主分类号: | C23C18/40 | 分类号: | C23C18/40 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 张海涛;于辉 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 甲醛 化学 镀铜 溶液 | ||
1.一种化学镀铜水溶液,其包含
铜离子来源,
作为还原剂的乙醛酸来源,和
作为络合剂的至少一种聚氨基二丁二酸、或至少一种聚氨基单丁二酸、或至少一种聚氨基二丁二酸与至少一种聚氨基单丁二酸的混合物,
其中该络合剂与铜离子的摩尔比是在1.1:1至5:1的范围内,其中乙醛酸与络合剂的摩尔比为2:1至3.6:1,其中铜离子浓度为0.031-0.047mol/l,乙醛酸浓度为0.027-0.270mol/l,络合剂浓度为0.034-0.171mol/l,
所述化学镀铜水溶液不含有硫代羧酸。
2.如权利要求1的化学镀铜水溶液,其中该络合剂与铜离子的摩尔比是在1.5:1至5:1的范围内。
3.如权利要求1的化学镀铜水溶液,其中该络合剂为至少一种聚氨基二丁二酸。
4.如权利要求1的化学镀铜水溶液,其中该络合剂为乙二胺-N,N'-二丁二酸(EDDS)。
5.如权利要求1的化学镀铜水溶液,其中该溶液进一步包含一种或多种稳定剂。
6.如权利要求5的化学镀铜水溶液,其中该稳定剂选自联吡啶、菲咯啉、巯基-苯并噻唑、硫脲或其衍生物、氰化物、硫氰酸盐、碘化物、乙醇胺、巯基-苯并三唑、Na2S2O3、聚合物聚丙烯酰胺类、聚丙烯酸酯类、聚乙二醇类或聚丙二醇类。
7.如权利要求5的化学镀铜水溶液,其中该稳定剂选自聚丙烯酰胺类的共聚物、聚丙烯酸酯类的共聚物、聚乙二醇类的共聚物、或聚丙二醇类的共聚物。
8.如权利要求1的化学镀铜水溶液,其中该溶液进一步包含氢氧根离子来源。
9.如权利要求1的化学镀铜水溶液,其中该溶液除含乙醛酸外还包含第二还原剂。
10.如权利要求9的化学镀铜水溶液,其中该第二还原剂选自连二磷酸、乙醇酸、甲酸及这些酸的盐。
11.一种用于化学镀铜的方法,该方法包括使基板与如权利要求1至10中任一项的化学镀铜水溶液接触。
12.如权利要求11的方法,其是在20-60℃的范围内的温度下进行。
13.一种如权利要求1至10中任一项的化学镀铜水溶液的用途,其用于印刷电路板、集成电路基板、晶片、模塑互连器件、显示器或塑料零件的镀覆。
14.一种如权利要求1至10中任一项的化学镀铜水溶液的用途,其用于玻璃基板的镀覆。
15.如权利要求14的用途,其用于显示器的玻璃基板的镀覆。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理





