[发明专利]管接头

说明书

技术领域

本发明涉及管接头，尤其涉及适于半导体制造用等、要求极高清洁度的用途的管接头。

背景技术

以往，作为适于半导体制造用等、要求极高清洁度的用途的管接头，公知有如下管接头，包括：具有相互连通的流体通路的一对管状接头部件；和夹设在两接头部件的对接端面之间的圆环状密封垫圈，通过设置在某一方接头部件上的外螺纹部件和设置在另一方接头部件上的内螺纹部件而使接头部件彼此结合（专利文献1）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-96329号公报（图5）

发明内容

在上述现有管接头中，在将外螺纹部件和内螺纹部件螺合时，存在产生微粒的可能性，该情况下，存在微粒进入到流体通路内而无法确保高清洁度的可能性。

本发明的目的在于提供一种管接头，防止在将外螺纹部件和内螺纹部件螺合时产生的微粒进入到流体通路内而能够维持高清洁度。

本发明的管接头包括：一对管状接头部件；和夹设在两接头部件的对接端面之间的圆环状密封垫圈，通过设置在某一方接头部件上的外螺纹部件和设置在另一方接头部件上的内螺纹部件而使接头部件彼此结合，该管接头的特征在于，在外螺纹部件上设有将两接头部件的对接部外周面覆盖的罩部。

在将外螺纹部件和内螺纹部件螺合时，存在产生微粒的可能性，但通过在外螺纹部件上设置将两接头部件的对接部外周面覆盖的罩部，能够防止微粒进入到流体通路内，从而能够维持高清洁度。

优选的是，各接头部件是由内周成为流体通路的圆筒状的套筒主体、和在套筒主体的对接端部一体地设置的凸缘构成的相同形状，套筒主体彼此隔着密封垫圈而相对，凸缘彼此的对接端面比套筒主体突出，且隔着防止过度紧固用间隙而相对。

在使套筒彼此隔着密封垫圈而对接时，若套筒的对接端面彼此的间隔是与密封垫圈的宽度相等的大小，则微粒侵入的可能性升高，但通过使凸缘彼此隔着防止过度紧固用间隙而相对，配合外螺纹部件的罩部而得到了双重的防止微粒侵入机构。防止过度紧固用间隙设定成，在进行适当紧固的情况下几乎为零，且在继此进一步进行紧固的情况下，相对于紧固的阻力增大，由此，不仅能够防止微粒侵入，还能够有助于防止过度紧固。

发明效果

根据本发明的管接头，在外螺纹部件上设有将两接头部件的对接部外周面覆盖的罩部，因此，防止在将外螺纹部件和内螺纹部件螺合时可能产生的微粒进入到流体通路内而能够维持高清洁度。

附图说明

图1是表示本发明的管接头的一个实施方式的纵剖视图。

图2是表示在本发明的管接头中使用的外螺纹部件的立体图。

附图标记说明

1：管接头，2、3：接头部件，4：密封垫圈，6：外螺纹部件，7：内螺纹部件，16：罩部

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。此外，在以下的说明中，以图1的左右为左右。

图1示出本发明的管接头的一个实施方式，管接头1包括：具有相互连通的流体通路的第1及第2管状接头部件2、3；夹设在两接头部件2、3之间的圆环状密封垫圈4；保持密封垫圈4且自身保持在第1接头部件2上的护圈（retainer）5；与第1接头部件2嵌合的大致圆筒状的外螺纹部件6；以及与第2接头部件3嵌合的大致圆筒状的内螺纹部件7。

各接头部件2、3包括：内周成为流体通路的圆筒状的套筒主体11、13；和在套筒主体11、13的对接端部一体地设置的凸缘12、14，各接头部件2、3为相同形状。

密封垫圈4为镍合金等金属制，通过使密封垫圈4在两接头部件2、3的对接端面之间发生塑性变形而得到密封性。在各接头部件2、3的套筒主体11、13的对接端面上，设有环状的密封垫圈按压突起11a、13a。密封垫圈4的内径与各接头部件2、3的内径相等。

密封垫圈4在右端部设有与其他部分相比外径较大而内径相等的大径部4a，由此成为具有平滑的内周面和带有层差的外周面的形状。护圈5在内周面上设有与密封垫圈4的大径部4a相对应的大径部5a，由此成为具有与密封垫圈4的带有层差的外周面相对应的带有层差的内周面的形状。密封垫圈4和护圈5以使密封垫圈4的大径部4a收纳于护圈5的大径部5a内的方式嵌合。

套筒主体11、13彼此隔着密封垫圈4而相对，凸缘12、14彼此的对接端面比套筒主体11、13突出，且隔着防止过度紧固用间隙G而相对。在凸缘12、14的对接端面上形成有用于收纳护圈5的凹部12a、14a。