[发明专利]低于大气压的气体洗涤器

权利要求书

1.一种适用于真空泵上游的低于大气压的气体洗涤器，所述气体洗涤器包括容器和用于在所述容器内形成清洁溶剂喷射的机构，所述容器包括用于在低于大气压的压力待清洁的气体的入口和出口，所述入口和出口布置成使所述待清洁的气体通过所述清洁溶剂的喷射，用于形成喷射的机构包括一种连接到至少一个喷射喷嘴的清洁溶剂入口、和一种清洁溶剂出口，可以使用泵将用过溶剂从容器泵送通过清洁溶剂出口，其中所述泵布置成将所述用过的溶剂再循环回到所述清洁溶剂入口。

2.根据权利要求1所述的气体洗涤器，其特征在于，所述泵包括再循环泵。

3.根据权利要求1或2所述的气体洗涤器，其特征在于，所述泵包括离心泵。

4.根据前述权利要求中任一项所述的气体洗涤器，其特征在于，所述过程气体入口和出口端口相对于彼此偏移、倾斜、成角度、或者既倾斜也成角度。

5.根据前述权利要求中任一项所述的气体洗涤器，其特征在于，所述过程气体和溶剂喷射布置成逆流。

6.根据前述权利要求中任一项所述的气体洗涤器，其特征在于，其还包括热交换器。

7.根据权利要求6所述的气体洗涤器，其特征在于，所述热交换器插置在所述清洁溶剂出口与所述清洁溶剂入口之间。

8.根据权利要求6或7所述的气体洗涤器，其特征在于，所述热交换器包括壳管式热交换器。

9.根据权利要求8所述的气体洗涤器，其特征在于，所述冷却剂在所述热交换器的壳侧上传递并且所述清洁溶剂通过所述管传递。

10.根据前述权利要求中任一项所述的气体洗涤器，其特征在于，其还包括温度传感器，用来感测所述清洁溶剂的温度。

11.根据权利要求10所述的气体洗涤器，其特征在于，所述温度传感器连接到用来控制所述冷却剂通过所述热交换器的流量的机构。

12.根据前述权利要求中任一项所述的气体洗涤器，其特征在于，其还包括用来启动所述泵或者向所述泵提供最小压头的机构。

13.根据权利要求12所述的气体洗涤器，其特征在于，所述泵位于所述容器下方的高度。

14.根据前述权利还是要求12或13所述的气体洗涤器，其特征在于，其还包括用来维持所述容器内的清洁流体的所希望的最小体积、所希望的最大体积或者所希望的最大体积和所希望的最小体积的机构。

15.根据权利要求14所述的气体洗涤器，其特征在于，用来维持所述容器中清洁流体的所希望的最小体积、最大体积或最大基体和最小体积的机构包括着包含下列的组中的任意一个或多个：上液位传感器；下液位传感器；用来从所述容器疏放清洁溶剂的控制机构；用来补给所述容器内的清洁溶剂的控制机构；所述泵的可调整的马达控制器。

16.根据前述权利要求中任一项所述的气体洗涤器，其特征在于，其还包括溶剂品质传感器。

17.根据权利要求16所述的气体洗涤器，其特征在于，所述溶剂品质传感器包括着包含下列的组中的任意一个或多个：用来感测随着品质变化的所述清洁溶剂性质的传感器；比重传感器；电阻率传感器；电容传感器；黏度传感器；以及内嵌式流量传感器。

18.根据前述权利要求中任一项所述的气体洗涤器，其特征在于，其还包括过滤器。

19.一种适用于真空泵上游的低于大气压的气体洗涤器，所述气体洗涤器包括容器和用于在所述容器内形成清洁溶剂喷射的机构，所述容器包括用于在低于大气压的压力待清洁的气体的入口和出口，所述入口和出口布置成使所述待清洁的气体通过所述清洁溶剂的喷射，用来形成喷射的机构包括多个喷射喷嘴，每个喷射喷嘴布置成在所述容器内形成清洁溶剂的喷射图案，其中所述喷射图案布置成在径向、轴向或既在径向也在轴向重叠。

20.根据权利要求19所述的气体洗涤器，其特征在于，其包括主喷射喷嘴。

21.根据权利要求20所述的气体洗涤器，其特征在于，所述主喷射喷嘴与所述容器基本上同轴地安装。