[发明专利]电子装置的OVJP图案化有效
| 申请号: | 201280045659.8 | 申请日: | 2012-09-17 |
| 公开(公告)号: | CN103814454A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
| 发明(设计)人: | 史蒂芬·福瑞斯特;格雷戈里·麦格劳 | 申请(专利权)人: | 密西根大学董事会 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H05B33/10 |
| 代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 章蕾 |
| 地址: | 美国密*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电子 装置 ovjp 图案 | ||
1.一种使用导引流印刷形成电子装置的方法,其包括以下步骤:
(a)使用光刻在衬底上图案化至少一个材料层,由此形成第一中间装置结构;
(b)使用导引流印刷在所述第一中间装置结构上图案化有机材料,由此形成第二中间装置结构;及此后
(c)在一个或一个以上后续步骤中完成所述电子装置,其中所述步骤中的至少一者包含将至少另一材料施加到所述第二中间装置结构,且其中在不使用光刻的情况下执行所述一个或一个以上后续步骤。
2.根据权利要求1所述的方法,其中步骤(a)进一步包括在透明绝缘衬底上方形成透明导电电极。
3.根据权利要求1所述的方法,其中步骤(a)包括形成若干导电电极行,且所述方法进一步包括形成若干隆起支柱列,每一隆起支柱与邻近支柱间隔开且垂直于所述电极行延伸。
4.根据权利要求3所述的方法,其中步骤(b)包括将所述有机材料图案化成若干行,使得所述有机材料上覆于所述导电电极上且与所述导电电极对齐。
5.根据权利要求4所述的方法,其中步骤(c)包括通过将电极材料层施加到所述第二中间装置结构上在所述隆起支柱之间形成列电极。
6.根据权利要求5所述的方法,其中步骤(b)进一步包括在所述导电电极行上方图案化红色、绿色及蓝色发光有机材料的单独区,由此形成红色、绿色及蓝色的个别可寻址邻近子像素,可一起激活所述子像素以产生各种色彩,借此所述电子装置包括彩色显示器。
7.根据权利要求1所述的方法,其中所述有机材料为有机发射层且其中步骤(b)进一步包括在所述有机发射层之前或之后施加不同有机材料的至少一个额外层。
8.根据权利要求1所述的方法,其中步骤(c)包括通过物理气相沉积施加电极材料层。
9.根据权利要求1所述的方法,其中步骤(b)包括使用以下印刷技术中的一者来图案化所述有机材料:喷墨印刷;喷嘴印刷;热蒸气喷印;或有机蒸气喷印。
10.一种使用有机蒸气喷印形成电子装置的方法,其包括以下步骤:
(a)将彼此电隔离的多个底部电极图案化到衬底上;
(b)图案化各自延伸跨越所述底部电极中的至少一些电极的多个隆起支柱,其中所述多个隆起支柱在所述隆起支柱的邻近对之间界定上部电极沟道;
(c)使用导引流印刷在所述底部电极的至少部分上方施加有机材料;及
(d)在所述隆起支柱上方且向所述上部电极沟道中施加电极材料层,其中所述隆起支柱在所述电极材料层中形成不连续点,由此在所述电极沟道中的每一者中形成经隔离上部电极。
11.根据权利要求10所述的方法,其中步骤(a)包括使用光刻将若干底部电极行图案化到所述衬底上。
12.根据权利要求11所述的方法,其中步骤(b)包括通过图案化正交于所述底部电极行定向的光致抗蚀剂列而使用光刻形成所述隆起支柱。
13.根据权利要求12所述的方法,其中步骤(c)包括使用有机蒸气喷印施加有机材料行使得所述有机材料行上覆于所述底部电极上且与所述隆起支柱交叉,其中所述隆起支柱在所述有机材料行中形成界定有机材料的经电隔离子像素位点的不连续点。
14.根据权利要求13所述的方法,其中步骤(c)包括施加不同光发射有机材料使得所述子像素位点的群组包含所述不同光发射有机材料,所述不同光发射有机材料可使用所述底部及上部电极个别寻址,借此所述电子装置包括矩阵显示器。
15.根据权利要求10所述的方法,其中所述有机材料为有机发射层且其中步骤(c)进一步包括在所述有机发射层之前或之后施加不同有机材料的至少一个额外层。
16.根据权利要求10所述的方法,其中步骤(d)包括通过物理气相沉积施加所述电极材料层。
17.根据权利要求10所述的方法,其中步骤(c)包括使用以下印刷技术中的一者来施加所述有机材料:喷墨印刷;喷嘴印刷;热蒸气喷印;或有机蒸气喷印。
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