[发明专利]产生少量金属粉尘的波纹管焊接用冷却环

说明书

技术领域

本发明涉及一种波纹管焊接用冷却环，尤其涉及一种在焊接时不会产生高电导性金属铜、铝、金、银等的金属粉尘的波纹管焊接用冷却环。

背景技术

波纹管是能够保持内外部的气密性的同时可进行伸缩运动的皱纹管，是多用于真空装置、半导体制造设备、小型工业机器类、精密机械等上的部件。

图1示出了波纹管100的一个例子。一般来说，上述波纹管100是以在两端分别结合法兰1的状态下使用的。在将由第一隔膜10和与第一隔膜10对置配置的第二隔膜20成对的多对隔膜(10，20)排列成一列的状态下，使相邻的第一隔膜10和第二隔膜20交替连接，从而具有皱纹管形态。

进一步详细描述制造波纹管100的方法。首先，冲压加工金属薄片，从而如图3所示制造第一个隔膜10和第二隔膜20，之后，通过将各对的第一隔膜10和第二隔膜的内侧端部相互焊接，如图4所示形成内周面焊接部IW，在这样通过焊接部IW焊接的多对隔膜(10，20)如图5所示配置成一列的状态下，如图6所示，将相邻对的上述第一隔膜10和第二隔膜20的外侧端部相互焊接而形成外周面焊接部OW。

此时，为了形成上述外周面焊接部OW，使用具有图7或图8所示的平面形状和图6或图9所示的截面形状的金属材质的焊接用冷却环(30，130)。

将上述波纹管焊接用冷却环30和130嵌入至上述各对第一隔膜10和第二隔膜20的外侧端部之间，维持上述第一隔膜10和第二隔膜20的外侧端部之间的距离一定，且使上述第一隔膜10和上述第二隔膜20彼此贴紧后夹紧，这是为了迅速散去形成上述外周面焊接部OW时产生的焊接热。

然而，因为以往的波纹管焊接用冷却环30和130是由软材质金属铜、铜合金、铝、金、银等金属制造的，所以在使用后在波纹管100的外周面留下微细的铜粉尘或铝粉尘，由于这种金属粉尘导电性很好，在上述波纹管100用于半导体器件时，存在因上述金属粉尘造成的短路而在半导体制造工艺中产生不良品的问题。

因此，当使用冷却环30和130时，在把波纹管100安装到半导体器件上之前，需要去除留在外周面上的金属粉尘，如铜粉。特别是，由于铜的性质是化学稳定性很好且吸附性优良，所以即使喷射高压空气或化学清洗也很难从波纹管100的表面除去铜粉尘。因此，必须由作业人员通过手工的方式逐个除去残留在上述波纹管100的外周面上的铜粉尘，非常不便。

发明内容

所要解决的技术问题

本发明是为了解决上述问题而做出的，其目的在于，提供一种在焊接时不产生高导电性的铜、铝、金、银等的金属粉尘的、改良了结构的波纹管焊接用冷却环。

技术方案

为了实现上述目的，本发明的波纹管焊接用冷却环，该焊接用冷却环用于制造波纹管，该波纹管包括多对隔膜，每对隔膜包括第一隔膜和与第一隔膜对置配置的第二隔膜，其特征在于，包括：含铜的圆弧形主体，配置成在与上述第一隔膜和上述第二隔膜中至少一个接触的状态下，使第一隔膜和第二隔膜彼此贴紧；以及镀金层，镀在上述主体上，上述镀金层包括从由镍和铬构成的集合中选择的至少一种。

在此，所述镀金层中，相对于总重量比100％，镍的重量比为99％以上。

在此，所述镀金层中，相对于总重量比100％，镍的重量比为99％以上。

为了实现上述目的，本发明的圆弧型状的焊接用冷却环，用于制造波纹管，该波纹管包括多对隔膜，每对隔膜包括第一隔膜和与第一隔膜对置配置的第二隔膜，其特征在于，配置成在与上述第一隔膜和上述第二隔膜中至少一个接触的状态下，使上述第一隔膜和上述第二隔膜彼此贴紧，包括从由钨、钼、镍和铬构成的集合中选择的至少一种。

在此，相对于总重量比100％，钨的重量比为99％以上。

在此，相对于总重量比100％，钼的重量比为99％以上。

在此，相对于总重量比100％，镍的重量比为99％以上。

在此，相对于总重量比100％，铬的重量比为99％以上。

发明效果

根据本发明，由于包括含铜的圆弧形主体和镀在上述主体上的镀金层，具有在焊接时不会产生高导电性的金属铜、铝、金、银等的金属粉尘的效果。

附图说明

图1为普通波纹管的截面立体图；

图2为图1所示的波纹管的II-II线截面图；

图3为示出将通过冲压加工金属薄板制造的第一个隔膜和第二隔膜彼此对置地配置的状态的截面图；

图4为将图3中所示的一对第一个隔膜和第二隔膜的内侧端部彼此焊接而形成内周面焊接部的截面图；