[发明专利]具有可侧向移动的绝热系统的定向固化炉

权利要求书

1.一种用于生产多晶硅晶锭的定向固化炉，所述炉包括：

用于容纳硅装载物的坩埚；

布置在坩埚的底座下方的多个绝热元件，所述绝热元件能够沿侧向在第一位置和第二位置之间移动，在所述第一位置，所述绝热元件限制热量从所述坩埚的底座流出，在所述第二位置，所述绝热元件不限制热量从所述坩埚的底座流出；和

致动系统，所述致动系统用于使所述绝热元件沿侧向在所述第一位置和所述第二位置之间移动。

2.根据权利要求1所述的炉，其特征在于，在所述第一位置，所述绝热元件设置在所述坩埚的底座下方，在所述第二位置，所述绝热元件没有设置在所述坩埚的底座下方。

3.根据权利要求2所述的炉，其特征在于，在所述第二位置，所述绝热元件与所述坩埚的底座侧向间隔开。

4.根据权利要求1所述的炉，其特征在于，所述绝热元件能够移动至所述第一位置和所述第二位置之间的中间位置，其中，与处于所述第一位置时相比，当处于所述中间位置时，所述绝热元件在更小的程度上限制热量从所述坩埚的底座流出。

5.根据权利要求1所述的炉，其特征在于，当处于所述第一位置时，所述绝热元件形成基本连续的表面，以限制热量从所述坩埚的底座流出。

6.根据权利要求1所述的炉，其特征在于，所述绝热元件的边缘具有重叠构型和搭叠构型的其中之一。

7.根据权利要求1所述的炉，其特征在于，所述多个绝热元件包括4个绝热元件。

8.根据权利要求1所述的炉，其特征在于，所述致动系统包括旋转致动器。

9.根据权利要求8所述的炉，其特征在于，还包括连接至所述旋转致动器的驱动轴。

10.根据权利要求9所述的炉，其特征在于，还包括多个动力螺杆和多个螺母，其中，每个所述动力螺杆均连接至所述驱动轴，每个所述螺母均连接至相应的绝热元件和相应的动力螺杆，以便所述驱动轴导致的所述动力螺杆的旋转使得所述螺母和连接至所述螺母的相应的绝热元件进行线性运动。

11.根据权利要求1所述的炉，其特征在于，还包括设置在所述坩埚的底座下方的一个或多个冷却板，其中，所述一个或多个冷却板能够在第一位置和第二位置之间移动，在所述第一位置，所述冷却板不接触所述坩埚的底部部分，在所述第二位置，所述冷却板位于所述坩埚的底部部分附近。

12.根据权利要求11所述的炉，其特征在于，当所述绝热元件处于它们的第一位置时，所述一个或多个冷却板处于所述第一位置，当所述绝热元件处于它们的第二位置时，所述冷却板处于所述第二位置。

13.一种在用于生产多晶硅晶锭的定向固化炉中使用的绝热系统，所述炉具有用于容纳硅装载物的坩埚，所述炉包括：

设置在坩埚的底座下方的多个绝热元件，所述绝热元件能够沿侧向在第一位置和第二位置之间移动，在所述第一位置，所述绝热元件设置在坩埚的底座下方，在所述第二位置，所述绝热元件不设置在坩埚的底座下方；以及

致动系统，所述致动系统用于使绝热元件沿侧向在所述第一位置和第二位置之间移动。

14.根据权利要求13所述的绝热系统，其特征在于，当处于所述第一位置时，所述绝热元件限制热量经所述坩埚的底部部分流动。

15.根据权利要求13所述的绝热系统，其特征在于，当处于所述第二位置时，所述绝热元件不限制热量经所述坩埚的底部部分流动。

16.根据权利要求13所述的炉，其特征在于，所述绝热元件能够移动至所述第一位置和所述第二位置之间的中间位置，其中，与处于所述第一位置时相比，当处于所述中间位置时，所述绝热元件在更小的程度上限制热量从所述坩埚的底座流出。

17.根据权利要求13所述的绝热系统，其特征在于，所述致动系统包括连接至驱动轴的旋转致动器。

18.根据权利要求17所述的绝热系统，其特征在于，还包括多个动力螺杆和多个螺母，其中，每个所述动力螺杆均连接至所述驱动轴，每个所述螺母均连接至相应的绝热元件和相应的动力螺杆，以便所述驱动轴导致的所述动力螺杆的旋转使得所述螺母和连接至所述螺母的相应的绝热元件进行线性运动。