[发明专利]具有紧凑无轴直接驱动器的基板传输设备

说明书

技术领域

示例性实施例主要涉及用于机械手系统的驱动器，并且更特别地涉及用于机械手系统的心轴驱动器。 

背景技术

当前的真空机械手使用铁磁流或唇式密封件来使电动机和编码器与真空隔离，或者在Brooks MAGNATRAN?产品的情况下，使用屏障壁来隔离电动机定子，但却将磁体转子和编码器直接放置在真空环境中。在这些情况下，电动机被放置在波纹管下方，并且轴被使用来连接电动机至机械手臂连杆。 

将有利的是利用倒置驱动器设计，其将定子放置在固定的内部支柱上，并将转子放置到定子外。 

附图说明

所公开实施例的前述方面和另一些特征在以下描述中结合附图来进行说明，附图中： 

图1是包含依据所公开实施例的多个方面的特征的基板处理设备的一部分的示意图；

图2是包含依据所公开实施例的多个方面的特征的基板处理设备的一部分的示意图；

图3是依据所公开实施例的多个方面的基板传输设备的示意图；

图4A-4D是依据所公开实施例的多个方面的机械手驱动系统的示意性剖视图；

图5A是依据所公开实施例的多个方面的转移设备的一部分的示意性剖视图；

图5B是依据所公开实施例的多个方面的图5A的转移设备的一部分的示意性剖视图；

图6是依据所公开实施例的多个方面的转移设备的一部分的示意性剖视图；

图7是依据所公开实施例的多个方面的转移设备的一部分的示意性剖视图；

图8是依据所公开实施例的多个方面的转移设备的一部分的示意性剖视图；

图9是依据所公开实施例的多个方面的转移设备的一部分的示意性剖视图；

图10示出了依据所公开实施例的多个方面的一示例性传感器系统的一部分；并且

图11示出了依据所公开实施例的多个方面的围绕铁磁元件的磁传感器的一示例性配置。

具体实施方式

图1是包含依据所公开实施例的多个方面的特征的基板处理设备的示意图。尽管将参考附图来描述所公开实施例的多个方面，但是应该明白的是：所公开实施例的多个方面可被实施为许多替代形式。另外，可以使用任何适当尺寸、形状或类型的元件或材料。此外，尽管所公开实施例的多个方面是在真空机械手的背景中描述的，但是应该指出的是：所公开实施例的多个方面包含可以使用驱动电动机的任何情况。 

在图1中示出的基板处理设备100是包含依据所公开实施例的多个方面的特征的代表性基板处理工具。在本示例中，处理设备100被示出为具有一般的批处理工具构造。在另一些方面，工具可以具有任何所需的配置，例如工具可以被构造成进行基板的单步骤处理，或具有如图2中示出的线性或笛卡尔配置。在再一些方面，基板处理设备可以为任何所需的类型，比如分类器、储料器、计量工具等。在设备100中处理的基板S可以为任何适当的基板，包括但不限于液晶显示面板、太阳能电池板、半导体晶片比如200mm、300mm、450mm直径晶片或任何其它所需直径的基板、具有任何适当的形状、尺寸和厚度适合于由基板处理设备100进行处理的任何其它类型的基板比如坯料基板、或具有类似于基板的特性比如某些尺寸或特定质量的制品。 

在一个方面，设备100可以通常具有：前侧部段105，例如形成微环境；和邻接的大气上可隔离的或密封的部段110，其可密封于外部环境用于保持受到控制的密封大气，其例如可以被配备来作为真空室发挥功能。在另一些方面，密封大气部段可以容纳惰性气体(例如N₂)或任何其它在环境上被密封和/或控制的大气。