[发明专利]驳接测试头与外围设备的方法与装置

权利要求书

1.一种用于将测试头驳接至外围设备的方法，所述测试头具有测试头驳接平面、对准特征的至少一组件及位置约束特征的至少一组件，且所述外围设备具有外围设备驳接平面、所述对准特征的至少一互补组件及所述位置约束特征的至少一互补组件，所述方法包括以下步骤：

相对于所述外围设备将所述测试头定位在第一位置中，其中所述测试头驳接平面实质上与所述外围设备驳接平面平行及间隔；

在所述平面保持实质上平行的情况下，朝向所述外围设备移动所述测试头至第二位置，其中所述位置约束特征的所述互补组件以给定相对位置关系彼此啮合，其中所述测试头与所述外围设备经限制而使其不在与所述平面平行的方向上相对于彼此运动；以及

在所述平面保持实质上平行的情况下，朝向所述外围设备移动所述测试头至第三位置，其中所述对准特征的所述互补组件啮合以将所述平面维持于彼此相距驳接距离，所述位置约束特征的所述互补组件在此进一步移动期间维持所述给定相对位置关系。

2.根据权利要求1所述的驳接方法，其中所述相对于所述外围设备定位所述测试头的步骤包含所述互补对准特征与所述互补位置约束特征的初步对准。

3.根据权利要求1所述的驳接方法，其中所述位置约束特征的所述组件中的一者界定至少一接触表面且所述位置约束特征的所述互补组件界定配合表面，所述配合表面以点接触或线接触来接触对应接触表面，使得进行接触时的反作用力不平行于或垂直于所述驳接平面。

4.根据权利要求1所述的驳接方法，其中所述位置约束特征包含力源，所述力在垂直于所述驳接平面的方向上作用于所述位置约束特征的所述组件中的一者上，使得所述接触点或所述接触线具有平行于所述驳接平面的非零力分量。

5.根据权利要求1所述的驳接方法，其中在所述第二位置中，所述测试头上的电接点与所述外围设备上的电接点分离。

6.根据权利要求1所述的驳接方法，其中所述位置约束特征的所述互补组件保持处于所述给定相对位置关系，而所述测试头保持处于其驳接位置。

7.根据权利要求1所述的驳接方法，其中所述外围设备上的电接点在探针卡、插座卡及测试中设备中的一者上。

8.一种用于将具有测试头驳接平面的测试头驳接至具有外围设备驳接平面的外围设备的装置，所述装置包括：

至少一对准特征，其包含互补对准组件，一者与所述测试头相关联且另一者与所述外围设备相关联，所述对准组件经组态以使得其间的啮合控制所述驳接平面相对于彼此的距离及平面定向；以及

至少一位置约束特征，其包含互补约束组件，一者与所述测试头相关联且另一者与所述外围设备相关联，所述约束组件中的一者在垂直于所述驳接平面的方向上为顺应性的，

其中当所述驳接平面彼此处于第一相对位置处时，所述约束组件经组态以按给定相对位置关系彼此啮合，其中所述测试头上的电接点与所述外围设备上的电接点分离，所述啮合的约束组件限制所述测试头与所述外围设备而使其不在平行于所述驳接平面的方向上相对于彼此运动，且

其中所述约束组件保持啮合而不相对于彼此移动，而所述测试头移动至驳接位置，其中所述测试头的所述电接点与所述外围设备上的所述电接点结合。

9.根据权利要求8所述的驳接装置，其还包括经组态以朝向另一约束组件推动所述顺应性约束组件的力产生单元。

10.根据权利要求9所述的驳接装置，其中所述力产生单元在所述顺应性约束组件的给定运动范围上提供力。

11.根据权利要求9所述的驳接装置，其中所述力产生单元是以流体方式操作。

12.根据权利要求8所述的驳接装置，其包括三个位置约束特征，所述位置约束特征中的每一者包含V形槽以作为所述约束组件中的一者及包含球形构件以作为所述互补约束组件。

13.根据权利要求8所述的驳接装置，其包括两个位置约束特征，所述位置约束特征中的一者的所述互补组件界定两个接触点或两条接触线以约束所述测试头在平面方向上的点，且另一位置约束特征的所述互补组件界定一接触点或接触线以约束所述测试头的旋转移动。