[发明专利]对互连器的铜线进行退火的方法有效
| 申请号： | 201280043209.5 | 申请日： | 2012-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103890200A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 濑户芳樹;小林国博;一色信元;渡部久明 | 申请（专利权）人： | 高周波热錬株式会社 |
| 主分类号： | C21D1/40 | 分类号： | C21D1/40;C21D1/42;C22C9/00;C22F1/02;C22F1/08;H01L31/05 |
| 代理公司： | 北京泛诚知识产权代理有限公司 11298 | 代理人： | 陈波;吴立 |
| 地址： | 日本东京都品川*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 互连 铜线 进行 退火 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种对互连器的铜线进行退火的方法，该方法包括：通过直接电阻加热或通过感应加热来加热铜线，其中，所述加热的加热温度是在650℃至1020℃的范围内，并且所述加热的加热时间是在0.3秒至5秒的范围内。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述加热在惰性气体氛围下实施。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述铜线具有扁平矩形截面形状，并且由韧铜、无氧铜、磷脱氧铜或高纯度铜制成。
4.根据权利要求2所述的方法，其中，所述铜线具有扁平矩形截面形状，并且由韧铜、无氧铜、磷脱氧铜或高纯度铜制成。
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