[发明专利]用于经由化学气相沉积处理的材料生产的筒形反应器

权利要求书

1.一种用于经由化学气相沉积处理生产材料的方法，包括：

a.提供能够与周围自由空间密封的容器；

b.提供能够被加热并能够设置在所述容器内部的沉积表面；

c.提供沉积气体混合物进入所述容器的流动，同时避免沉积气体混合物在所述容器周围的自由空间内的流动；

d.提供排出气体流出所述容器的流动，同时避免排出气体在所述容器周围的自由空间内的流动；

e.将所述沉积表面设置在所述容器内、与所述周围自由空间密封所述容器、加热所述沉积表面、使沉积气体混合物流入所述容器、并使排出气体流出所述容器，使得材料硬皮沉积到所述沉积表面上并且充分填充所述容器的空隙容积；

f.停止并洗涤进入所述容器的沉积气体混合物流，并以如下任意方式持续生产周期：

i.在所述沉积表面由与所述沉积材料相同的材料构成的情况下，简单地开启所述容器，并回收由用于进一步处理的所述材料硬皮充分填充的所述容器；

ii.在所述沉积表面与待生产的材料相比由具有更高熔融温度的材料或材料组合构成、并且固体产品为所需的情况下：

1.将所述沉积表面进一步加热至所述材料的所述熔融温度或在所述熔融温度之上，使得所述沉积表面界面处的薄层材料液化，并且材料硬皮脱落；

2.开启所述容器并使所述受热的沉积表面与所述容器中脱落的材料硬皮分离；

3.回收由用于进一步处理的材料硬皮充分填充的所述容器；

iii.在所述沉积表面与待生产的材料相比由具有更高熔融温度的材料或材料组合构成、并且熔融产品为所需的情况下：

1.将所述沉积表面进一步加热至所述材料的所述熔融温度或在所述熔融温度之上，并保持所述沉积表面与所述材料接触直至所述材料熔融；

2.开启所述容器并使所述受热的沉积表面与所述容器中的熔融材料分离；

3.回收由用于进一步处理的熔融材料充分填充的所述容器；

iv.在所述沉积表面与待生产的材料相比由具有更高熔融温度的材料或材料组合构成、并且结晶产品为所需的情况下：

1.将所述沉积表面进一步加热至所述材料的所述熔融温度或在所述熔融温度之上，并保持所述沉积表面与所述材料接触直至所述材料熔融；

2.开启所述容器并使所述受热的沉积表面以可控的速率与熔融材料分离，从而发生材料的特定冷却和结晶；

3.回收由用于进一步处理的结晶材料充分填充的所述容器。

2.一种用于经由化学气相沉积处理生产材料的方法和反应器，包括：

a.提供能够与周围自由空间密封的反应器；

b.提供能够设置在所述反应器内部并能够与所述反应器内部的其余自由空间密封的容器；

c.提供能够被加热并能够设置在所述容器内部的沉积表面；

d.提供沉积气体混合物从所述反应器外部进入所述反应器内的所述容器内部的流动，同时避免沉积气体混合物在所述反应器内部的其余自由空间中的流动；

e.提供排出气体从所述反应器内的所述容器内部到所述反应器外部的流动，同时避免排出气体在所述反应器内部的其余自由空间中的流动；

f.将所述容器设置在所述反应器内部并将所述反应器与周围自由空间密封；

g.将所述沉积表面设置在所述容器内部，并将所述容器从所述反应器内部的其余自由空间密封；

h.加热所述沉积表面、使沉积气体混合物流入所述容器，并使排出气体流出所述容器，使得材料硬皮沉积在所述沉积表面上并充分填充所述容器的空隙容积；

i.停止并洗涤进入所述容器的沉积气体混合物流，并以如下任意方式持续生产周期：

i.在所述沉积表面由与所述沉积材料相同的材料构成的情况下，简单地开启所述容器，开启所述反应器，并回收由用于进一步处理的材料硬皮充分填充的所述容器；

ii.在所述沉积表面与待生产的材料相比由具有更高熔融温度的材料或材料组合构成、并且固体产品为所需的情况下：

1.将所述沉积表面进一步加热至所述材料的所述熔融温度或在所述熔融温度之上，使得所述沉积表面界面处的薄层材料液化，并且材料硬皮脱落；

2.开启所述容器并使所述受热的沉积表面与所述容器中脱落的材料硬皮分离；

3.开启所述反应器并回收由用于进一步处理的材料硬皮充分填充的所述容器；

iii.在所述沉积表面与待生产的材料相比由具有更高熔融温度的材料或材料组合构成、并且熔融产品为所需的情况下：

1.将所述沉积表面进一步加热至所述材料的所述熔融温度或在所述熔融温度之上，并保持所述沉积表面与所述材料接触直至所述材料熔融；

2.开启所述容器并使所述受热的沉积表面与所述容器中的熔融材料分离；

3.开启所述反应器并回收由用于进一步处理的熔融材料充分填充的所述容器；

iv.在所述沉积表面与待生产的材料相比由具有更高熔融温度的材料或材料组合构成、并且结晶产品为所需的情况下：

1.将所述沉积表面进一步加热至所述材料的所述熔融温度或在所述熔融温度之上，使得所述沉积表面界面处的薄层材料液化并且材料硬皮脱落；

2.以如下任意方式熔融所述材料：

a.通过保持受热的沉积板与所述材料接触直至材料熔融，从而使用所述沉积表面进行熔融；

b.使用在所述容器外部但在所述反应器内部的加热器进行熔融，其包括：

i.开启所述容器，并将受热的沉积表面与所述容器内脱落的材料硬皮分离；

ii.使用所述加热器对所述容器内的材料进行熔融，所述加热器位于所述容器外部但位于所述反应器内部；

3.以如下任意方式使所述熔融材料结晶：

a.开启所述容器并以可控速率使受热的沉积表面与所述熔融材料分离，从而发生材料的特定冷却和结晶；

b.以可控速率提供来自所述加热器的加热，该加热器位于所述容器外部但位于所述反应器内部，从而发生材料的特定冷却和结晶；

c.提供冷却器，该冷却器位于所述容器外部但位于所述反应器内部，并以可控速率提供来自所述冷却器的冷却，从而发生材料的特定冷却和结晶；

d.提供旋转拉杆，该旋转拉杆以可控速率浸入熔融材料并从熔融材料拉出，从而发生材料的结晶；

4.开启所述反应器并回收由用于进一步处理的结晶材料充分填充的所述容器。