[发明专利]膜厚测定装置及膜厚测定方法有效
| 申请号： | 201280041489.6 | 申请日： | 2012-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN103765156A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 黑川政秋;安井润;见持圭一;盐谷成敏 | 申请（专利权）人： | 三菱重工业株式会社 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;G01B11/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测定 装置 方法 | ||
1.一种膜厚测定装置，具备：
膜厚测定机构，其对形成在被测定对象上的隔热涂敷膜的膜厚进行测定；
存储机构，其存储对所述隔热涂敷膜的膜厚进行测定的地点即所述被测定对象上的测定地点；
形状测定机构，其对所述被测定对象的形状进行测定；
测定位置算出机构，其根据由所述测定机构测定出的所述被测定对象的形状及存储在所述存储机构中的所述被测定对象上的测定地点，来算出适合于所述膜厚测定机构进行实际的膜厚测定的实际测定地点；
驱动机构，其根据由所述测定位置算出机构算出的所述实际测定地点，来驱动所述膜厚测定机构，从而调整所述膜厚测定机构的测定位置。
2.根据权利要求1所述的膜厚测定装置，其特征在于，
所述形状测定机构沿着直线方向扫描激光来算出二维面内的所述被测定对象的形状。
3.根据权利要求1或2所述的膜厚测定装置，其特征在于，
还具备对所述隔热涂敷膜的表面温度进行测定的温度测定机构，
所述膜厚测定机构根据由所述温度测定机构测定出的表面温度，对测定出的所述膜厚进行修正。
4.一种膜厚测定方法，包括：
膜厚测定机构对形成在被测定对象上的隔热涂敷膜的膜厚进行测定的步骤；
形状测定机构对所述被测定对象的形状进行测定的步骤；
测定位置算出机构根据由所述形状测定机构测定出的所述被测定对象的形状、及存储在存储机构中的对隔热涂敷膜的膜厚进行测定的地点即所述被测定对象上的测定地点，来算出适合于所述膜厚测定机构进行实际的膜厚测定的实际测定地点的步骤；
驱动机构根据由所述测定位置算出机构算出的所述实际测定地点，来驱动所述膜厚测定机构，从而调整所述膜厚测定机构的测定位置的步骤。
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