[发明专利]树脂制模具的接合方法及由该接合方法制得的辊对辊用连续模具结构体

说明书

技术领域

本发明涉及树脂制模具的接合方法及由该接合方法制得的辊对辊(roll-to-roll)用连续模具结构体，具体而言，涉及适合于从作为原版的1个模具连续制造大量树脂结构物(特别是树脂制的复制模)的情况的树脂制模具的接合方法及由该接合方法制得的辊对辊用连续模具结构体。

背景技术

压印技术是指将具有所需的微细的凹凸图案的反转图案的模具按压在基板上的液状树脂等转印材料上，藉此将模具的反转图案转印至转印材料的微细加工技术。

作为微细的凹凸图案的反转图案，存在从10nm水平的纳米级图案到100μm左右的图案，用于半导体材料、光学材料、存储介质、微电机、生物、环境等各种领域。

另一方面，在从1个模具制造大量的复制模的情况下，如果使用柔软且对于转印材料具有追随性的树脂制模具、并通过辊对辊进行连续转印而形成复制模，则与对金属辊的表面进行切削加工而形成所需的微细的凹凸图案的反转图案的情况相比，能够以低成本制造。

此外，如果是树脂制模具，即使存在金属辊无法实现的纳米级的要求，也能够在短时间内大量且低成本地进行制造。

在这样使用树脂制模具并通过辊对辊来生产大量复制模的情况下，将多个树脂制模具并列配置在片材上，将其作为1个单元卷绕在转印用辊上。

即、如果将多个树脂制模具并列配置在转印用辊的周面，则在转印用辊旋转一次的期间，可同时形成多个复制模。

这里，作为将多个树脂制模具配置于转印用辊的技术，已知专利文献1所述的技术。

该专利文献1中公开了如下技术：例如图12(A)所示，将对接的树脂膜20、20的端部用一对加热器14、14夹住，用该加热器14、14进行加压熔接的技术；或者如图12(B)所示，将接合的树脂膜20、20的端部配置成叠合的状态，从该状态对相应的部分进行加压熔接的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：WO2011/049097号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

但是，如图12(A)所示，在将树脂膜20、20的端部彼此对接并进行加压熔接的情况下，存在无法将接合部充分接合、之后导致背离的问题。

根据实验，在图12(A)所示的对接状态下将树脂膜20、20间加压熔接，将其卷绕在转印用辊上，以辊对辊的方式来制造压印用模具的情况下，4小时左右的连续运转下在树脂膜20、20间的接合部发生剥离。

另一方面，在如图12(B)所示的使欲接合的树脂膜20、20的端部间处于部分叠合的状态后对相应的部分进行加压熔接的情况下，两者的接合性虽然提高，但是在接合部会产生高低差(日语：段差)。

一旦这样在接合部产生高低差，则会对之后进行的反转图案的转印造成不良影响。

本发明鉴于这种实际情况，其目的是提供一种用于以辊对辊的方式大量生产树脂结构物(特别是树脂制的复制模)的树脂制模具的接合方法以及由该接合方法制得的辊对辊用连续模具结构体，该接合方法在将树脂制模具的端部彼此接合时，能加强接合部的强度且在接合部不产生高低差，藉此能良好地进行所需的微细的凹凸图案的反转图案的转印。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明是为了解决如上所述的现有技术中的问题而完成的发明，本发明的树脂制模具的接合方法是将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制模具的端部间对接的树脂制模具的接合方法，其特征是，在上述树脂制模具的端部的对接部的间隙内填充剥离性的树脂，通过上述剥离性的树脂的固化，将上述树脂制模具的端部间接合成一体。

如果采用这样的树脂制模具的接合方法，则能够将树脂制模具的端部的对接部牢固地接合。

还有，因为在对接部的间隙内填充有剥离性树脂，所以不会导致转印材料的树脂进入间隙内。

此外，由于可进行切实的接合，所以能防止接合部发生部分剥离等的不良情况。

此外，根据实验，在卷绕至转印用辊、以辊对辊的方式制造复制模的情况下，能够进行8小时左右的连续运转。

此外，本发明的树脂制模具的接合方法的特征是，上述树脂制模具的对接部的间隙为0.5μm～3mm。

如果是这样的间隙，则通过装填在间隙内的剥离性树脂的固化，能够充分保持接合部的强度，并且能够良好地实施接合作业。

此外，如果设有这样的间隙，则不会在对接部形成对转印造成不良影响的高低差。

此外，根据实验，高低差可在30μm以下，该高低差的情况下不会对转印造成影响。