[发明专利]用于MEMS装置的灵敏度调整装置和方法在审
| 申请号： | 201280040182.4 | 申请日： | 2012-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN103858446A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | J·T·舒尔茨;戴伟文;P·V·洛佩特 | 申请（专利权）人： | 美商楼氏电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H01L29/84 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 吕俊刚;刘久亮 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 mems 装置 灵敏度 调整 方法 | ||
1.一种微机电MEMS麦克风，该MEMS麦克风包括：
MEMS马达，该MEMS马达至少包括隔膜和充电板，该MEMS马达被构造成接收声能并且将该声能转换为电信号；
增益调整装置，其具有输入端和输出端，并且被耦接到该MEMS马达，该增益调整装置被构造成在输入端从该MEMS马达接收电信号，并且调整如从所述增益调整装置的输出端测量的该电信号的增益，增益量被选择成获得用于麦克风的良好的灵敏度。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，该增益调整装置包括多个可切换的电阻器。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，该增益调整装置包括多个可切换的电容器。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，该增益调整装置包括多个可切换的电阻器和多个可切换的电容器。
5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，该增益调整装置包括开关，以选择对所述电信号的增益的进行调整的至少一个元件。
6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，该增益调整装置被构造成动态地进行调整。
7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中，该增益调整装置被构造成永久地进行调整。
8.一种调整MEMS麦克风的方法，该方法包括以下步骤：
以预定频率测量MEMS麦克风的灵敏度；
当该灵敏度不可接受时，动态地调整该麦克风的增益；
随后测量该麦克风的灵敏度以确定测量到的灵敏度是否可接受。
9.根据权利要求8所述的方法，其中，动态地调整增益包括选择至少一个电阻器来调整所述麦克风的增益。
10.根据权利要求8所述的方法，其中，动态地调整增益包括选择至少一个电容器来调整所述麦克风的增益。
11.根据权利要求8所述的方法，其中，动态地调整增益包括选择至少一个电阻器和至少一个电容器来调整所述麦克风的增益。
12.根据权利要求8所述的方法，所述方法还包括永久地调整所述麦克风的增益。
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