[发明专利]热蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种热蒸镀装置，其取代现有钨丝（tungsten filament）或者钼舟（molybdenum boat），使用板状的金属加热器来降低蒸镀偏差率，更为具体地涉及利用板状的金属加热器和载体的热蒸镀装置，所述板状的金属加热器设置为平行于器材的空转轴，并且所述载体位于所述板状的金属加热器正面。使用本发明的热蒸镀装置，从而增大蒸镀物质的使用效率，并能够将蒸镀物质均匀且具有再现性地蒸镀于器材上。

背景技术

智能手机的情况下，因为正面的钢化玻璃全部用作输入工具，所以钢化玻璃正面具有耐指纹表面，并且随着智能手机需求量的增大，开发出了能够大量制造耐指纹表面的方法。

溅射（Sputtering）、电子束蒸镀（E-beam evaporation）、脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition，PLD）、热蒸镀（Thermal Evaporation）等作为现有的耐指纹表面镀膜方法广为人知，并且其中热蒸镀法的优点在于，工艺简单、蒸镀速度快且装置的价格相对低廉。

现有的热蒸镀装置为了生产效益，在中央设置加热器及载体，而且是将器材在所述加热器及载体周围排列的形状，通过设置于中央的加热器对载体进行加热，从而对载体内所含有的蒸镀物质进行蒸发，进而蒸镀于器材表面。此时，为了进一步提高生产效益，可使器材进行空转或空自转。如图1a，2a所示，一般所使用的加热器和载体是在钨丝或钼舟上放置载体的形状，所述载体形成为多孔陶瓷或者金属。

但是，如图1b，2b所示，所述形状为载体放置于加热器上，仅蒸镀物质的50%以下会朝向位于近处的器材方向，而剩余50%蒸镀物质可经过空转治具（jig）的直径距离到达器材背面的表面，所述治具以载体及加热器为中心排列。

在所述过程中，蒸镀物质的使用效率不仅会下降，而且可能与杂质反应，从而全面降低蒸镀品质。此外，缺点在于，由于现有的加热器的加热器构造，器材表面上下难以均匀蒸镀，尤其舟(boat)形状加热器的蒸镀偏差非常大。

发明内容

本发明为了解决所述问题而提出，目的在于提供一种热蒸镀装置，其取代现有钨丝（tungsten filament）或者钼舟（molybdenum boat），引入板状的金属加热器，从而可提高蒸镀品质，并且减小蒸镀偏差率。

为达成所述目的，本发明涉及一种热蒸镀装置，其包括：载体，其含有蒸镀物质；钨丝（tungsten filament）或者钼舟（molybdenum boat），其对所述载体进行加热；治具，其用于搭载器材，形成为可在所述载体前面进行移动。其中，以板状金属加热器代替现有的钨丝（tungsten filament）或者钼舟（molybdenum boat），所述板状金属加热器设置为与器材的公转轴平行，并且将所述载体设置于所述板状金属加热器的前面。

此外，本发明的热蒸镀装置中，为了将载体设置于板状的金属加热器前面，可形成支架，并且为了提高所述板状金属加热器和载体间的紧贴性，可在所述板状的金属加热器前面形成用于支撑载体的弹簧。此时，优选地，所述载体的截面可形成为梯形，以便易于对所述载体的弹簧进行拆装。并且，可在所述载体上形成吊钩构造，以便能够装到所述板状金属加热器一侧。

此外，为了提高所述载体的导热性，所述载体可由混合金属粒子或金属丝（wire）的陶瓷材料制造而成。此时，为了保持所述载体的电气绝缘性（electric insulation），优选地，所述金属粒子或金属丝的直径为1um～0.1mm，所述金属粒子或金属丝的含量为1～50vol%。

此外，将所述载体由导热率不同的两种以上的多孔性物质组成，并且在各个多孔性物质中含有不同的蒸镀物质，从而在加热器加热时引入时间差，使不同的物质蒸镀在器材上。

并且，为了延长所述金属加热器的寿命，可在所述加热器表面蒸镀TiN、TiAlN、CrC或CrN中的某一种，并且所述器材可适用于所有镀膜产品，并且优选地可用于在智能手机正面的钢化玻璃上蒸镀耐指纹物质。

本发明的热蒸镀装置引入板状的金属加热器，从而增加高价蒸镀物质的使用效率，并能够在器材上均匀且具有再现性地蒸镀蒸镀物质。此外，汽化的蒸镀物质全部朝向距离载体较近位置的器材方向，因此可减少蒸镀物质内的杂质含量，并提高蒸镀品质。

附图说明

图1a，图1b是表示现有的钨丝加热器和载体的使用形状及蒸镀过程的概念图。

图2a，图2b是表示现有的钼舟加热器和载体的使用形状及蒸镀过程的概念图。