[发明专利]放射线检测元件、放射线图像检测面板及放射线图像检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及放射线检测元件、放射线图像检测面板及放射线图像检测装置。本发明尤其涉及将放射线直接转换为电荷的放射线检测元件、放射线图像检测面板及放射线图像检测装置。

背景技术

近年来，在多数放射线图像检测装置中，作为放射线检测元件，使用了在TFT（Thin Film Transistor：薄膜晶体管）主动矩阵基板上配置X线感应层而能够将X线信息直接转换为数字数据的FPD（Flat Panel Detector：平板探测器）。为了提高该FPD的分解能力，减小像素尺寸较为有效。尤其是在吸收放射线并转换为电荷的光电转换层中使用了硒（Se）的直接转换方式的放射线检测元件中，像素尺寸有助于分解能力的提高。因此，近年来，尝试通过像素尺寸的高清化来提高画质。

另一方面，在FPD中，与像素尺寸的缩小成正比，能够收集的电荷量也减少，S/N下降，因此即使分解能力提高，综合性的画质DQE也会降低。因此，提出了以下方案（例如参照日本特开2003-255049号公报及日本特开2000-105278号公报）：通过将像素形状设为六边形并将它们排列成蜂窝状，来维持分解能力的提高和S/N，并且提高光的利用率。

发明内容

发明要解决的问题

日本特开2003-255049号公报中记载的装置是间接转换型的放射线检测装置，不具有用于蓄积光电转换所获得的电荷的电容（辅助电容）。因此，在该装置中，无需直接转换型的放射线图像检测装置这样的通用接地布线。因此，日本特开2003-255049号公报的图9中记载的偏压线103配置于光电转换部的上部，因此确保偏压线的设计自由度。另一方面，在直接转换型的放射线图像检测装置的情况下，上述辅助电容是必须的，必须配置偏压线。图7表示以下情况：在直接转换型放射线图像检测装置的放射线检测部中，将像素形状设为六边形并排列成蜂窝状，使像素内的TFT开关204的位置与像素形状为矩形时同样地，对于所有像素配置于相同方向上，为了使数据布线201和通用接地布线203不交叉，使通用接地布线203对应于数据布线201而蛇行弯曲。在这种情况下，在通用接地布线203左右弯曲的部分，产生与TFT开关的距离变小的部位（在图7中参照由虚线围成的部分。在该图7中，在向左弯曲的部分，与TFT开关的距离变近）。并且，因TFT开关和数据布线的距离变小，通用接地布线203与TFT开关发生冲突，通用接地布线的配置变得困难。并且，在使通用接地布线203变细时，布线的电阻上升，维持通用电压（接地）变得困难。

而且，当数据布线201和通用接地布线203接近时，数据布线和通用接地布线间的电容增加。由此，会显著妨碍放射线检测元件的像素的高清化，无法提高放射线检测元件的分解能力。

本发明提供避免信号线的布线间间距的狭小化并实现高清化的放射线检测元件、放射线图像检测面板及放射线图像检测装置。

用于解决问题的方法

本发明的第一方式是一种放射线检测元件，具有：传感部，由具有接受放射线的照射而产生电荷的半导体膜且彼此相邻并排列成二维状的多个六边形像素构成；检测部，设于各像素，并且具有：收集电荷的像素电极、蓄积由该像素电极收集的电荷的蓄积电容及用于读出该蓄积电容所蓄积的电荷的开关元件；多个扫描布线，彼此并排地配置，传送进行开关元件的开关控制的信号；多个数据布线，与扫描布线交叉并且沿着六边形的像素周缘的一部分弯曲地配置，传送与由开关元件读出的电荷对应的电信号；及多个通用布线，将蓄积电容的一个电极彼此相互连接而固定为规定电位，开关元件配置于由在与多个扫描布线的延伸设置方向交叉的方向上将像素一分为二的线段和该像素周缘中的连续设有数据布线的3条边所围成的区域内，并且开关元件与连续设于该3条边的数据布线连接，通用布线在多个数据布线之间不与多个数据布线交叉地配置。

本发明的第二方式在上述第一方式中，通用布线在多个数据布线之间延伸地设成直线状或大致直线状。本发明的第三方式在上述方式中，多个通用布线经由蓄积电容及开关元件而与多个数据布线连接。而且，本发明的第四方式在上述第三方式中，蓄积电容和开关元件对应由多个扫描布线划分的每像素列交替地位于数据布线的一侧或另一侧。

本发明的第五方式在上述方式中，多个通用布线配置于比像素电极靠下层侧。并且，本发明的第六方式在上述第一至第四方式中，多个扫描布线、多个数据布线、多个通用布线和开关元件配置于传感部的下层侧。