[发明专利]经调适于电子装置制造中运输基板的机械手系统、设备与方法

权利要求书

1.一种电子装置处理系统，包含：

腔室；

机械手设备，所述机械手设备容纳在所述腔室中并经调适以运输基板，所述机械手设备包括：

吊杆连接装置，所述吊杆连接装置经调适以绕第一旋转轴旋转；

上臂连结外壳，所述上臂连结外壳于偏移所述第一旋转轴的第一径向位置处耦合至所述吊杆连接装置，所述上臂连结外壳经调适以绕位于所述第一径向位置的第二旋转轴旋转；

前臂连结外壳，所述前臂连结外壳于与所述第二旋转轴隔开的第二位置耦合至所述上臂连结外壳，且所述前臂连结外壳经调适以相对于所述上臂连结外壳绕位于所述第二位置的第三旋转轴旋转；

腕部构件，所述腕部构件耦合至所述前臂连结外壳，且所述腕部构件经调适用于相对于所述前臂连结外壳绕第四旋转轴旋转，所述腕部构件经调适以耦合至终端受动器，其中所述终端受动器经调适以携带所述基板；及

前臂驱动器构件，所述前臂驱动器构件牢固地耦合至所述吊杆连接装置，且所述前臂驱动器构件具有前臂驱动元件，所述前臂驱动元件延伸穿过所述上臂连结外壳，所述前臂驱动元件经耦合至所述前臂连结外壳的被动构件。

2.如权利要求1所述的系统，其中所述吊杆连接装置通过在电动机外壳中的第一电动机所驱动。

3.如权利要求1所述的系统，其中所述前臂驱动器构件于所述吊杆连接装置的下部分牢固地耦合至所述吊杆连接装置。

4.如权利要求1所述的系统，其中所述前臂驱动器构件延伸穿过所述上臂连结外壳的导轴。

5.如权利要求4所述的系统，其中所述上臂连结外壳的所述导轴耦合至第二电动机，所述第二电动机经安装至所述吊杆连接装置。

6.如权利要求5所述的系统，其中被安放在所述吊杆连接装置中的所述第二电动机暴露于真空。

7.如权利要求1所述的系统，所述系统包含第二电动机，所述第二电动机被安放在所述上臂连结外壳中。

8.如权利要求7所述的系统，其中被安放在所述上臂连结外壳中的所述第二电动机暴露于大气。

9.如权利要求7所述的系统，其中被安放在所述上臂连结外壳中的所述第二电动机经调适以致使所述腕部构件的旋转。

10.如权利要求7所述的系统，所述系统包含腕部构件驱动器组件，所述腕部构件驱动器组件耦合在所述第二电动机与所述腕部构件之间，所述腕部构件驱动器组件包含驱动器滑轮、传递轴、被动滑轮及第一及第二腕部构件驱动器皮带，所述传递轴枢转地安装至所述上臂连结外壳，所述被动滑轮在所述腕部构件上，所述第一腕部构件驱动器皮带耦合在所述传递轴与所述驱动器滑轮之间，所述第二腕部构件驱动器皮带耦合在所述传递轴与所述被动滑轮之间。

11.一种机械手设备，包含：

吊杆连接装置，所述吊杆连接装置经调适以绕第一旋转轴旋转；

上臂连结外壳，所述上臂连结外壳于偏移所述第一旋转轴的第一径向位置处耦合至所述吊杆连接装置，所述上臂连结外壳经调适以绕位于所述第一径向位置的第二旋转轴旋转；

前臂连结外壳，所述前臂连结外壳于与所述第二旋转轴隔开的第二位置耦合至所述上臂连结外壳，且所述前臂连结外壳经调适以相对于上臂绕位于所述第二位置的第三旋转轴旋转；

腕部构件，所述腕部构件耦合至所述前臂连结外壳，且所述腕部构件经调适用于相对于所述前臂连结外壳绕第四旋转轴旋转，所述腕部构件经调适以耦合至终端受动器，其中所述终端受动器经调适以携带基板；及

前臂驱动器构件，所述前臂驱动器构件牢固地耦合至所述吊杆连接装置，且所述前臂驱动器构件具有前臂驱动元件，所述前臂驱动元件延伸穿过所述上臂连结外壳，所述前臂驱动元件耦合至所述前臂连结外壳的被动构件。

12.如权利要求11所述的设备，其中所述吊杆连接装置通过在电动机外壳中的第一电动机所驱动。

13.如权利要求11所述的设备，其中所述前臂驱动器构件于所述吊杆连接装置的底部牢固地耦合至所述吊杆连接装置。

14.如权利要求11所述的设备，其中所述前臂驱动器构件延伸穿过所述上臂连结外壳的导轴。

15.一种在电子装置处理系统内运输基板的方法，所述方法包含以下步骤：

提供机械手设备，所述机械手设备具有吊杆连接装置、上臂连结外壳、前臂连结外壳、腕部构件和前臂驱动器构件，所述上臂连结外壳耦合至所述吊杆连接装置，所述前臂连结外壳耦合至所述上臂连结外壳，所述腕部构件耦合至所述前臂连结外壳，所述腕部构件经调适以耦合至终端受动器，以及所述前臂驱动器构件牢固地耦合至所述吊杆连接装置，并且所述前臂驱动器构件具有前臂驱动元件，所述前臂驱动元件延伸穿过所述上臂连结外壳，所述前臂驱动元件耦合至所述前臂连结外壳的被动构件；

旋转所述吊杆连接装置至一地点，所述地点邻近于取放地点；

相对于所述吊杆连接装置独立地旋转所述上臂连结外壳；及

相对于所述前臂连结外壳独立地旋转所述腕部构件。