[发明专利]标准具及标准具的制造方法

权利要求书

1.一种标准具滤波器，该标准具滤波器具有以下特性：从一对反射膜中的一方射出的光的强度与射入所述一对反射膜中的另一方的光的强度的比、即透射系数按照由所述一对反射膜之间的光路长度所确定的FSR的间隔周期性上升，

其特征在于，包括：

第一透光体，该第一透光体具有构成入射面及出射面中的一个面的第一外侧面、及其背面的第一内侧面，且相对于温度上升的变化其光路长度的变化为正；

第二透光体，该第二透光体具有构成入射面及出射面中的另一个面的第二外侧面、及其背面的第二内侧面，且相对于温度上升的变化其光路长度的变化为负；

第一反射膜，该第一反射膜覆盖所述第一外侧面，该第一反射膜是所述一对反射膜中的一个；

第一防反射膜，该第一防反射膜覆盖所述第一内侧面；

第二反射膜，该第二反射膜覆盖所述第二外侧面，该第二反射膜是所述一对反射膜中的另一个；

第二防反射膜，该第二防反射膜覆盖所述第二内侧面；

与所述第一内侧面或所述第一防反射膜在其外边缘侧相接合的第一金属层；以及

与所述第二内侧面或所述第二防反射膜在其外边缘侧相接合、且通过金属扩散而与所述第一金属层相接合的第二金属层，

所述第一内侧面与所述第二内侧面隔着间隙彼此相对，

所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的光路长度仅由所述第一透光体、所述第一防反射膜、所述间隙、所述第二防反射膜以及所述第二透光体构成，

所述第一金属层通过从所述第一防反射膜一侧开始层叠Cr和Au或层叠Ta和Au而构成，

所述第二金属层通过从所述第二防反射膜一侧起层叠Cr和Au或者层叠Ta和Au而构成，

所述第一金属层和所述第二金属层利用Au彼此的金属扩散而接合，所述间隙的厚度为亚微米级至微米级。

2.一种标准具滤波器的制造方法，该标准具滤波器具有以下特性：从一对反射膜中的一方射出的光的强度与射入所述一对反射膜中的另一方的光的强度的比、即透射系数按照由所述一对反射膜之间的光路长度所确定的FSR的间隔周期性上升，

其特征在于，包括：

准备第一透光体的步骤，该第一透光体具有第一外侧面及其背面的第一内侧面，且相对于温度上升的变化其光路长度的变化为正；

准备第二透光体的步骤，该第二透光体具有第二外侧面及其背面的第二内侧面，且相对于温度上升的变化其光路长度的变化为负；

形成第一反射膜的步骤，该第一反射膜覆盖所述第一外侧面，该第一反射膜是所述一对反射膜中的一个；

形成第一防反射膜的步骤，该第一防反射膜覆盖所述第一内侧面；

形成第二反射膜的步骤，该第二反射膜覆盖所述第二外侧面，该第二反射膜是所述一对反射膜中的另一个；

形成第二防反射膜的步骤，该第二防反射膜覆盖所述第二内侧面；以及

在被所述第一防反射膜覆盖的所述第一内侧面与被所述第二防反射膜覆盖的所述第二内侧面隔着间隙彼此相对的状态下将所述第一透光体与所述第二透光体彼此固定的步骤，

在所述彼此固定的步骤中，通过金属扩散使得第一金属层与第二金属层相接合，所述第一金属层与所述第一内侧面或所述第一防反射膜在其外边缘侧相接合，所述第二金属层与所述第二内侧面或所述第二防反射膜在其外边缘侧相接合，

所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的光路长度仅由所述第一透光体、所述第一防反射膜、所述间隙、所述第二防反射膜以及所述第二透光体构成，

在准备所述第一透光体和所述第二透光体之前，还包括设定所述第一透光体和所述第二透光体的厚度的步骤，

设定所述第一透光体和所述第二透光体的厚度时，如下所述计算所述FSR：

将标准具整体看作是由m层介质形成的多层结构体，此时，第j层(1≤j≤m)的介质的特性矩阵M_j由下述式(3)及式(4)来表示，

δ_j＝2πn_jd_j/λ·cosθ_j(4)

其中，λ为波长，n_j为第j层的介质的折射率，d_j为第j层的介质的厚度，θ_j为第j层的介质中的折射角，δ_j为第j层的介质的相位，i为虚数单位，

如下述式(5)所示，多层结构体的特性矩阵M由各层的矩阵的积来表示，

透射系数T由下述式(9)来表示，

其中，n₀是m层介质中成为入射介质的介质的折射率，n_m是m层介质中成为出射介质的介质的折射率，

接着，在上述式(9)中，将波长λ作为变量计算出透射系数T，求出最大值，而后根据最大值间的波长间隔计算出FSR。