[发明专利]光学部件

说明书

技术领域

本发明涉及具有电介质多层膜的光学部件。

背景技术

在数码相机等摄像装置中，使用CCD(Charge Coupled Device)、CMOS图像传感器(Complementary Metal Oxide Semiconductor Image Sensor)等固体摄像元件拍摄拍照对象。这些固体摄像元件具有从可见区域到1100nm附近的近红外波长区域的光谱灵敏度，由于单体不能得到良好的色再现性，所以使用遮蔽红外波长区域的光的滤光器校正为人的通常的视感度。即，在从拍摄透镜到固体摄像元件的光路中设置遮蔽红外波长区域的光的滤光器。用于这种用途的滤光器要求可见波长区域的光的透射率高，例如，如专利文献1所示，可使用高折射率层和低折射率层交替层叠多层而成的电介质多层膜。

但是，具有电介质多层膜的滤光器具有光的入射角依赖性，用于摄像装置时，由于截止波长随着通过拍摄透镜入射到滤光器的光的入射角而移动，所以有时在摄影的图像的中心部和周边部色调发生变化。以下，光的入射角依赖性简称为入射角依赖性。

作为降低入射角依赖性的方法，例如已知有以下方法：设置第1电介质多层膜和第2电介质多层膜，使第1电介质多层膜的反射波段的宽度比第2电介质多层膜的反射波段的宽度窄，而且将第2电介质多层膜的短波长侧边缘的位置设置在第1电介质多层膜的反射波段的短波长侧边缘和长波长侧边缘之间，尤其使第1电介质多层膜整体的平均折射率比第2电介质多层膜整体的平均折射率高。这种方法中，利用平均折射率高的第1电介质多层膜降低入射角依赖性，与第2电介质多层膜并用而确保广的反射波段。专利文献2是这样的例子。

另外，作为分光镜，已知有组合由高折射率层和中折射率层构成的第1选择透射多层膜、与由折射率比大的高折射率层和低折射率层构成的第2选择透射多层膜的方法。这种方法中，通过由高折射率层和中折射率层构成的第1选择透射多层膜降低入射角依赖性。专利文献3是这样的例子。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2008-070825号公报

专利文献2:日本特开2007-183525号公报

专利文献3:日本特开平11-202127号公报

发明内容

如专利文献2所记载，如果只是提高电介质多层膜的平均折射率，则例如将由TiO₂形成的高折射率层与由折射率比SiO₂高的Ta₂O₅等形成的中折射率层交替反复层叠时，反射波段的宽度窄，且反射率容易变低。因此，如专利文献2、3所记载，已知有将由用TiO₂形成的高折射率层和用折射率比SiO₂高的Ta₂O₅等形成的中折射率层构成的平均折射率高的电介质多层膜、与由高折射率层和低折射率层构成的平均折射率低的电介质多层膜并用的方法，但需要追加形成构成材料不同的折射率层，生产率并不一定优异。

本发明是为了解决上述课题而完成的，对于具有将折射率为2以上的高折射率层和折射率为1.6以下的低折射率层交替层叠而成的电介质多层膜的光学部件，以降低入射角依赖性为目的。

本发明的光学部件具有透明基材和形成于所述透明基材的电介质多层膜，所述电介质多层膜是将由折射率为2以上的高折射率层和折射率为1.6以下的低折射率层构成的单位折射率层层叠多个而成的。本发明的光学部件的特征在于，所述电介质多层膜中的所述单位折射率层的总层数为15以上，且将所述单位折射率层的所述高折射率层的光学膜厚设为n_Hd_H、将所述低折射率层的光学膜厚设为n_Ld_L时，所述电介质多层膜中的满足n_Hd_H/n_Ld_L≥3的单位折射率层的层数为10以上。

根据本发明的光学部件，具有将由折射率为2以上的高折射率层和折射率为1.6以下的低折射率层构成的单位折射率层层叠多个而成的电介质多层膜，通过使电介质多层膜中的单位折射率层的总层数为15以上、且使电介质多层膜中的满足n_Hd_H/n_Ld_L≥3的单位折射率层的层数为10以上，能有效地降低入射角依赖性。

附图说明