[发明专利]处理设备(PROCESSING FACILITY)

说明书

技术领域

本发明涉及处理设备，其设有运送车，该运送车沿着经由对处理对象物进行不同工序的处理的多个处理装置和贮存前述处理对象物的贮存装置的运送线行驶而运送前述处理对象物，前述多个处理装置中的每一个构成为对主管理单元发送处理进行信息，该处理进行信息包含要求前述处理对象物的运入的运入要求信息和要求前述处理对象物的运出的运出要求信息，前述主管理单元构成为：如果前述运入要求信息和前述运出要求信息被发送，则制作表示前述处理对象物的运送起点和运送终点的运送指令信息，对运送管理单元发送该运送指令信息，前述运送管理单元构成为基于前述运送指令信息而控制前述运送车的行驶。

背景技术

如上所述的处理设备为例如用于对半导体基板依次进行洗净工序、干燥工序、蚀刻工序等不同的多个工序的处理的设备。作为多个处理装置，一般而言，每个装备有对处理对象物进行不同工序的处理的多种处理装置。

例如，在处理设备为对半导体基板进行处理的设备的情况下，收纳多块半导体基板的半导体收纳容器相当于处理对象物。即，处理半导体基板的处理装置从半导体收纳容器依次取出半导体基板而处理，将处理完的半导体基板依次收纳于半导体收纳容器。

而且，在该处理设备中，处理对象物由运送车依次运送至进行不同工序的处理的多个处理装置。

即，处理装置在运转开始时或处理对象物刚被运出后不存在处理对象物时，对主管理单元发送处理对象物的运入要求信息作为处理进行信息。

主管理单元如果接受运入要求信息，则选出用于运入发送了运入要求信息的处理装置的处理对象物。该处理对象物的选出多数从贮存于贮存装置的处理对象物之中选出，在选出贮存于贮存装置的处理对象物的情况下，主管理单元对贮存装置指示该处理对象物的出库。

主管理单元如果选出处理对象物，则制作将接收该处理对象物的部位作为运送起点且将发送了处理对象物的运入要求信息的处理装置作为运送终点的运送指令信息，对运送管理单元发送该运送指令信息。

运送管理单元如果接受运送指令信息，则为了将运送起点的处理对象物运送至运送终点的处理装置而控制运送车的行驶。即，使运送车行驶至接收处理对象物的部位，接收处理对象物，接着使运送车行驶至作为运送终点的处理装置，将处理对象物交付至作为运送终点的处理装置。

一般而言，装备有多台运送车，非作业中等的能够运送的运送车被选作用于运送处理对象物的运送车。

而且，处理装置一般而言对主管理单元发送针对处理中的处理对象物的处理的进展信息作为处理进行信息，如果针对处理对象物的处理结束，则对主管理单元发送处理对象物的运出要求信息作为处理进行信息。

主管理单元如果接受运出要求信息，则将发送运出要求信息的处理装置作为运送起点，制作将应当运送来自该处理装置的处理对象物的部位作为运送终点的运送指令信息，对运送管理单元发送。

在设定作为应当运送来自处理装置的处理对象物的部位的运送终点时，主管理单元基于关于该处理对象物的多个处理工序的进行信息而对运送的处理对象物确认接着处理的工序为哪种工序，确认多个处理装置的现在的处理状况，而且确认贮存装置的处理对象物的贮存状况，然后参考提高多个处理装置的运行率等条件并同时将适当的部位设定为应当运送处理对象物的部位。

在实际的运行中，被设定为应当运送处理对象物的部位的部位多数考虑定于贮存装置，但也存在贮存装置以外的部位被定为应当运送部位的情况。

例如，在运送指令信息的制作中或其之前，从其它处理装置对主管理单元发送运入要求信息而且该处理装置为对处理对象物进行接着进行的工序的处理的处理装置的情况下，有时候也将该处理装置定为应当运送处理对象物的部位。

另外，作为贮存装置以外的部位被定为应当运送部位的其它示例，在与处理装置对应而装备有处理对象物的暂时放置部的情况下，有时候即使进行接着进行的工序的处理的处理装置在现在处理中，该处理装置的暂时放置部也被定为应当运送部位。

在运送指令信息的制作中，其它处理装置被定为应当运送处理对象物的部位，相当于针对上述发送运入要求信息的处理装置而运入处理对象物。

另外，在与处理装置对应而装备暂时放置部的情况下，在选出针对上述发送运入要求信息的处理装置而运入的处理对象物时，当处理对象物存在于与该处理装置对应的暂时放置部时，该处理对象物优先被选出。

即，在发送运入要求信息的处理装置中，如上所述，贮存于贮存装置的处理对象物被运入的情况较多，但也存在运入来自其它处理装置或暂时放置部的处理对象物的情况。