[发明专利]绝缘膜被覆金属箔

权利要求书

1.一种绝缘膜被覆金属箔的制造方法，其是具有有机-无机杂化材料层的绝缘膜被覆金属箔的制造方法，其特征在于，

将配合有聚二甲基硅氧烷和金属醇盐的液体进行涂布，所述金属醇盐具有选自Mg、Ca、Y、Al、Sn、Ti、Zr、Nb、Ta、W中的1种以上的金属，

在70℃以上且210℃以下进行干燥，

以30～80℃/min的升温速度升温，在250～600℃保持30～240分钟，

由此沿上述有机-无机杂化材料层的厚度方向、从该层的表面算起的1/4t深度处的Si的浓度［Si］_1/4t，相对于沿上述有机-无机杂化材料层的厚度方向、从该层的表面算起的3/4t深度处的Si的浓度［Si］_3/4t具有以下的关系，

［Si］_1/4t＜［Si］_3/4t

且上述Si浓度的相对比、R_Si＝［Si］_3/4t-［Si］_1/4t/［Si］_3/4t的值为0.02以上且0.23以下。

2.根据权利要求1所述的绝缘膜被覆金属箔的制造方法，其特征在于，A_1/2t与A_1/10t具有以下的关系，

1.0×A_1/2t＜A_1/10t＜2.0×A_1/2t

其中，所述A_1/2t是沿上述有机-无机杂化材料层的厚度方向、从该层的表面算起的1/2t深度处的Si的浓度［Si］_1/2t与包含Si以外的金属元素的金属氧烷的金属元素M的浓度［M］_1/2t之比，即，A_1/2t＝［M］_1/2t/［Si］_1/2t，

所述A_1/10t是沿上述有机-无机杂化材料层的厚度方向、从该层的表面算起的1/10t深度处的Si的浓度［Si］_1/10t与金属氧烷的M元素的浓度［M］_1/10t之比，即，A_1/10t＝［M］_1/10t/［Si］_1/10t。

3.一种绝缘膜被覆金属箔，其是至少含有金属箔、和在该金属箔的一面或两面上配置的有机-无机杂化材料层的绝缘膜被覆金属箔，其特征在于，

该有机-无机杂化材料层是配合了聚二甲基硅氧烷和金属醇盐而成的层，所述金属醇盐是具有选自Mg、Ca、Y、Al、Sn、Ti、Zr、Nb、Ta、W中的1种以上而成的金属醇盐，

沿上述有机-无机杂化材料层的厚度方向、从该层的表面算起的1/4t深度处的Si的浓度［Si］_1/4t，相对于沿上述有机-无机杂化材料层的厚度方向、从该层的表面算起的3/4t深度处的Si的浓度［Si］_3/4t具有以下的关系，

［Si］_1/4t＜［Si］_3/4t

且上述Si浓度的相对比、R_Si＝［Si］_3/4t-［Si］_1/4t/［Si］_3/4t的值为0.02以上且0.23以下。

4.根据权利要求3所述的绝缘膜被覆金属箔，其特征在于，A_1/2t与A_1/10t具有以下的关系，

1.0×A_1/2t＜A_1/10t＜2.0×A_1/2t

其中，所述A_1/2t是沿上述有机-无机杂化材料层的厚度方向、从该层的表面算起的1/2t深度处的Si的浓度［Si］_1/2t、与包含Si以外的金属元素的金属氧烷的金属元素M的浓度［M］_1/2t之比，即，A_1/2t＝［M］_1/2t/［Si］_1/2t，

所述A_1/10t是沿上述有机-无机杂化材料层的厚度方向、从该层的表面算起的1/10t深度处的Si的浓度［Si］_1/10t与金属氧烷的M元素的浓度［M］_1/10t之比，即，A_1/10t＝［M］_1/10t/［Si］_1/10t。