[发明专利]吸附装置及处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及将被吸附体加以吸附的吸附装置以及对该吸附装置所吸附的被吸附体进行规定的处理的处理装置。

背景技术

在对膜状材料或片状材料等被处理体实施激光加工等处理时，要利用差压将被处理体吸附固定在试样台上(例如参照专利文献1～4)。另外，在要将不同尺寸的被处理体吸附在试样台上时，要将试样台变更成与被处理体的尺寸相符的试样台，或是采用与不同尺寸的被处理体中最大尺寸的被处理体尺寸相符的试样台，并且根据被处理体的尺寸而将不用的吸附区域用片状材料等来覆盖(例如参照专利文献1)。

图3是表示专利文献1记载的吸附区域可变装置的示意图。

在配置了描画对象物110的描画台101上，穿设有许多通孔(图中未示)。在描画台101的Y轴方向侧面设有将在描画台101上穿设的许多通孔全部加以覆盖的宽度方向(X轴方向)的卷帘辊轴102。卷帘辊轴102上卷绕着不通气的片状材料，在拉出口安装了将片状材料拉出的固定杆103。在描画台101上的两侧面突出设有用于将固定杆103钩住的固定销104，以使从卷帘辊轴102拉出的片状材料停住。

另外，为了防止气体泄漏，描画台101的下部形成为箱体。该箱体的内部被沿X方向滑动的密封板105一分为二。在描画台101的侧部形成了透明窗口111，从而能够目视箱体内的密封板105。通过使设在箱体上的手柄106旋转，能够使密封板105沿X轴方向移动。

在描画台101上的描画对象物110的下部，设有用于将箱体内部的气体吸出的排气口107。排气口107经过软管109与吸附装置108连接。

采用图3所示的吸附区域可变装置时，如下述那样将描画对象物110固定在描画台101上。

首先，将描画对象物110置于描画台101上。再将固定杆103挂到固定销104处，使未能被描画对象物110堵住的通孔处于被卷帘辊轴102覆盖的位置，从而用卷帘辊轴102来覆盖通孔。

另一方面，从设在描画台101上的透明窗口111来目视密封板105，并用手柄106使密封板105移动，以使密封板105处于描画对象物110的端面部。

然后，用吸附装置108将隔着密封板105而处于与手柄106相反一侧的描画台101内部的气体排出。这样一来，就能够利用大气压与描画台101内部的负压之间的差压将描画对象物110固定。

在要将不同尺寸的描画对象物110加以固定时，就要通过上述步骤将未能用描画对象物110覆盖的通孔加以覆盖，由此将描画对象物110加以固定。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平11－26912号公报

专利文献2：日本专利特开2001－199574号公报

专利文献3：日本专利特开2005-189365号公报

专利文献4：日本专利特开平9－76088号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，如上述那样每次将不同尺寸的被处理体吸附以加以固定时，都要用密封材等来覆盖不使用的吸附区域，因此作业效率低下。另外，即使是根据被处理体的尺寸来改变试样台本身，同样存在作业效率低下的问题。

本发明正是为了解决上述已有的技术问题而作，目的在于提供一种吸附装置及具备该吸附装置的处理装置，能够以很高的作业效率简单地吸附固定不同尺寸的被吸附体。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明的吸附装置的第一方案的特征是，具备利用差压来吸附被吸附体的吸附部，该吸附部被划分成能够各自独立地实施吸附动作的多个吸附区域。

本发明第二方案的吸附装置是在所述第一方案的基础上，所述吸附区域中的各个区域能与真空排气线和气体供给线连通地连接，并且在所述真空排气线和所述气体供给线上分别设置了开闭阀。

本发明第三方案的吸附装置是在所述第二方案的基础上，所述吸附部在各个吸附区域设置了多个吸附用的通气孔。

本发明第四方案的吸附装置是在所述第三方案的基础上，在每个所述吸附区域设置有与所述多个通气孔连通的分隔室部，所述真空排气线和所述气体供给线经过所述多个通气孔及所述分隔室部而与所述吸附区域连通地连接。

本发明第五方案的吸附装置是在所述第一方案至第四方案中任一方案的基础上，所述吸附部设在吸附台上，该吸附台能拆卸地设置在基座上。

本发明第六方案的吸附装置是在所述第五方案的基础上，所述基座具备利用差压将所述吸附台加以吸附并设置固定的吸附台吸附部。