[发明专利]带层叠膜的玻璃基板的制造方法无效
| 申请号: | 201280034332.0 | 申请日: | 2012-07-12 |
| 公开(公告)号: | CN103649000A | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
| 发明(设计)人: | 广松邦明;白井正信;宫下纯一;米道友广;远藤健朗 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号: | C03C17/245 | 分类号: | C03C17/245;C03B25/08;C03C17/34;C23C16/40;H01L31/049 |
| 代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 王海川;穆德骏 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 层叠 玻璃 制造 方法 | ||
1.一种带层叠膜的玻璃基板的制造方法,该制造方法使用具备将玻璃的原料熔化的熔炉、使熔融玻璃浮在熔融金属上而成形为玻璃带的浮法槽和对所述玻璃带进行退火的退火炉的玻璃制造装置,通过CVD法利用设置在所述退火炉内的所述玻璃带上方的多个喷射器在所述玻璃带上形成层叠膜,并将所述玻璃带切断,该制造方法的特征在于,
在将玻璃化转变温度设为Tg时,所述层叠膜在Tg+50℃以下形成,
在所述退火炉中,夹着所述玻璃带在与各喷射器相反的一侧设置与各喷射器成对的加热器,
对于各喷射器,将该喷射器与所述玻璃带的交换热量设为Q1(kW)、将与该喷射器成对的加热器与所述玻璃带的交换热量设为Q2(kW)且将玻璃的流量设为P(吨/天)时,以下关系式成立:
|Q1|-P×0.116≤|Q2|≤|Q1|。
2.根据权利要求1所述的带层叠膜的玻璃基板的制造方法,其特征在于,
以下关系式成立:
|Q1|-P×0.058≤|Q2|≤|Q1|。
3.根据权利要求1或2所述的带层叠膜的玻璃基板的制造方法,其特征在于,
在沿所述玻璃带的输送方向相邻的喷射器之间且相对于所述玻璃带为所述喷射器侧设置有加热器。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的带层叠膜的玻璃基板的制造方法,其特征在于,
所述喷射器的下表面与玻璃带的距离为30mm以下。
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