[发明专利]用于光伏电池的导电衬底

权利要求书

1.一种用于光伏电池的导电衬底，包括：

-包含碱离子的介电衬底（1）；

-在衬底（1）上所形成的电极覆盖层（4），所述电极覆盖层（4）包括基于钼的层，所述导电衬底包括在所述衬底（1）上所形成的并且被插入在所述衬底（1）和所述电极覆盖层（4）之间的多层堆叠（2），其中：

     ·在所述衬底（1）上所形成的第一不透碱层（2A）；

     ·碱保持层（2B），所述碱保持层（2B）在第一不透碱层（2A）上并且以不同于第一不透碱层（2A）的材料所形成，在碱保持层（2B）和第一不透碱层（2A）的厚度之间的比等于2或更多；

     ·第二不透碱层（2A’），所述第二不透碱层（2A’）在碱保持层（2B）上并且以不同于碱保持层（2B）的材料所形成。

2.根据权利要求1所述的导电衬底，其中在碱保持层（2B）和第一不透碱层（2A）的厚度之间的比等于3或更多。

3.根据权利要求1或2所述的导电衬底，其中第一不透碱层（2A）具有小于或等于30nm、例如小于或等于20nm、例如小于或等于15nm的厚度。

4.根据前述权利要求中任一项所述的导电衬底，其中碱保持层（2B）具有小于或等于60nm、例如小于或等于40nm、例如小于或等于35nm的厚度。

5.根据前述权利要求中任一项所述的导电衬底，其中在碱保持层（2B）和第二不透碱层（2A’）的厚度之间的比等于2或更多、例如等于3或更多。

6.根据前述权利要求中任一项所述的导电衬底，其中第二不透碱层（2A’）具有小于或等于30nm、例如小于或等于20nm、例如小于或等于15nm的厚度。

7.根据前述权利要求中任一项所述的导电衬底，其中第一不透碱层（2A）和第二不透碱层（2A’）是以相同材料所制成的。

8.根据前述权利要求中任一项所述的导电衬底，其中每个不透碱层（2A，2A’）是基于氮化硅或氮化铝的。

9.根据前述权利要求中任一项所述的导电衬底，其中所述碱保持层（2B）或每个碱保持层（2B）是基于氧化硅或基于氧化锡、例如锡和锌的混合氧化物的。

10.一种半导体器件，其包括根据前述权利要求中任一项所述的导电衬底和光吸收剂层（6），所述光吸收剂层例如基于黄铜矿，其中所述光吸收剂层是在导电衬底上所形成的。

11.一种光伏电池，其包括根据权利要求10所述的半导体器件。

12.一种用于制造导电衬底的方法，其包括在于以下的步骤：

- 在包含碱的介电衬底（1）上形成第一不透碱层（2A）；

- 在第一不透碱层（2A）上形成碱保持层（2B），在碱保持层（2B）和第一不透碱层（2A）的厚度之间的比等于2或更多，并且碱保持层（2B）是以不同于第一不透碱层（2A）的材料所实现的；

- 在碱保持层（2B）上并且以不同于碱保持层（2B）的材料形成第二不透碱层（2A’）；

- 在第二不透碱层（2B）上形成电极覆盖层（4），所述电极覆盖层（4）包括基于钼的层。