[发明专利]压电元件、振荡波电机和光学装置

权利要求书

1.一种压电元件，包括：

具有第一表面和第二表面的压电材料；

设置在所述压电材料的第一表面上的公共电极；

设置在所述压电材料的第二表面上的驱动相电极和检测相电极，

其中，夹在所述驱动相电极与所述公共电极之间的部分（1）中的压电材料的压电常数的绝对值d(1)和夹在所述检测相电极与所述公共电极之间的部分（2）中的压电材料的压电常数的绝对值d(2)满足关系d(2)<d(1)。

2.根据权利要求1所述的压电元件，其中，所述压电材料是单片压电材料。

3.根据权利要求1或2所述的压电元件，其中，所述绝对值d(2)是绝对值d(1)的0.5倍或更小。

4.根据权利要求1至3中任何一项所述的压电元件，还包括：

设置在所述压电材料的第二表面上的至少一个非驱动相电极，

其中，夹在非驱动相电极与所述公共电极之间的部分（3）中的压电材料的压电常数的绝对值d(3)和所述绝对值d(1)满足关系d(3)<d(1)。

5.根据权利要求4所述的压电元件，其中，所述绝对值d(3)是所述绝对值d(1)的0.02倍或更小。

6.根据权利要求4或5所述的压电元件，其中，在所述至少一个非驱动相电极之中，满足关系d(3)<d(1)的非驱动相电极与所述公共电极电气独立。

7.根据权利要求1至6中任何一项所述的压电元件，其中，所述压电材料具有小于1000ppm的铅含量。

8.根据权利要求1至7中任何一项所述的压电元件，其中，所述压电材料是包含钛酸钡作为主成分的压电陶瓷。

9.根据权利要求1至8中任何一项所述的压电元件，其中，所述压电材料包含由通式（1）表示的钙钛矿型金属氧化物作为主成分：

(Ba_1-xCa_x)(Ti_1-yZr_y)O₃（0.02≤x≤0.30，0.020≤y≤0.095且y≤x）（1）。

10.根据权利要求1至9中任何一项所述的压电元件，其中，所述压电材料包含作为主成分的由通式（1）表示的钙钛矿型金属氧化物和结合到所述钙钛矿型金属氧化物中的锰，并且锰含量相对于100份重量的所述钙钛矿型金属氧化物按金属换算为大于或等于0.02份重量且小于或等于0.40份重量。

11.一种用于振荡波电机的定子，包括：

根据权利要求1至10中任何一项所述的压电元件，所述压电元件具有包括公共电极的第一表面以及包括驱动相电极和检测相电极的第二表面；

设置在所述压电元件的第一表面上的隔膜；以及

设置在所述压电元件的第二表面上的电力输入/输出导线。

12.一种振荡波电机，包括：

根据权利要求11所述的定子。

13.一种驱动控制系统，包括：

根据权利要求12所述的振荡波电机。

14.一种光学装置，包括：

根据权利要求13所述的驱动控制系统。

15.一种用于制作根据权利要求11所述的用于振荡波电机的定子的方法，该方法包括：

步骤（A），在压电材料的第一表面上形成公共电极，在所述压电材料的第二表面上形成极化电极以将所述压电材料夹在所述公共电极与所述极化电极之间，并且施加电压以极化所述压电材料并获得压电元件；以及

步骤（B），将所述极化电极相接合以至少形成驱动相电极、检测相电极和非驱动相电极，然后在等于或高于所述压电材料的去极化温度Td的温度下将电力输入/输出导线粘合到所述检测相电极或所述非驱动相电极的表面。

16.根据权利要求15所述的方法，还包括，在所述步骤（B）之后：

步骤（C），极化夹在所述检测相电极与所述公共电极之间的部分中的压电材料。

17.根据权利要求15所述的方法，其中，所述去极化温度Td为大于或等于100℃且小于或等于200℃。