[发明专利]Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶及其制造方法

权利要求书

1.一种Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶，其特征在于，100μm×100μm面积(视野)内的富B相中的0.1～20μm的裂纹数为10个以下。

2.如权利要求1所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶，其特征在于，Cr为1～40原子%，Pt为1～30原子%，B为0.2～25原子%，剩余部分由Co及不可避免的杂质构成。

3.如权利要求2所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶，其特征在于，还含有0.5原子%以上且20原子%以下的选自Cu、Ru、Ta、Pr、Nb、Nd、Si、Ti、Y、Ge、Zr中的一种以上元素作为添加元素。

4.如权利要求1～3中任一项所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶，其特征在于，相对于溅射面，水平方向的最大磁导率(μmax)为20以下。

5.如权利要求1～4中任一项所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶，其特征在于，相对于溅射面，水平方向的矫顽力(Hc)为35Oe以上。

6.如权利要求1～5中任一项所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶，其特征在于，相对密度为95%以上。

7.一种Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，对Co-Cr-Pt-B型合金铸锭进行热锻或热轧后，进行伸长率为4%以下的冷轧或冷锻，进一步对其进行机械加工而制成靶，使100μm×100μm面积(视野)内的富B相中的0.1～20μm的裂纹数为10个以下。

8.一种Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，对Co-Cr-Pt-B型合金铸锭进行热锻或热轧后，骤冷至-196℃～100℃，进一步对其进行机械加工而制成靶。

9.如权利要求8所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，对Co-Cr-Pt-B型合金铸锭进行热锻或热轧后，进行水冷。

10.如权利要求8所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，对Co-Cr-Pt-B型合金铸锭进行热锻或热轧后，利用鼓风扇进行骤冷。

11.如权利要求8所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，对Co-Cr-Pt-B型合金铸锭进行热锻或热轧后，利用液氮进行骤冷。

12.如权利要求7～11中任一项所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，将Co-Cr-Pt-B型合金铸锭加热至800℃～1100℃，进行15%以下的热轧或热锻。

13.一种Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶的制造方法，其特征在于，通过权利要求7～12中任一项所述的制造方法来制造权利要求1～6中任一项所述的Co-Cr-Pt-B型合金溅射靶。