[发明专利]异质结光电池的处理方法有效
| 申请号: | 201280031297.7 | 申请日: | 2012-06-25 |
| 公开(公告)号: | CN103650170B | 公开(公告)日: | 2017-05-03 |
| 发明(设计)人: | 萨穆埃尔·哈里森;皮埃尔-让·里贝隆 | 申请(专利权)人: | 原子能与替代能源委员会 |
| 主分类号: | H01L31/20 | 分类号: | H01L31/20;H01L31/0747 |
| 代理公司: | 上海申新律师事务所31272 | 代理人: | 吴俊 |
| 地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 异质结 光电池 处理 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种光伏电池处理工艺,为了稳定和提高处理工艺的效率。
背景技术
异质结光伏电池是通过关联两个半导体、即晶体硅和非晶硅构成的,与同质结电池相反,同质结电池是通过关联两个相同材质的晶带构成的。
更具体的,参考图1,异质结电池包括由晶体硅组成的中间层1,其上面和下面为两层2、3,其被称为“钝化”层,由非晶硅放置组成,即一上层2和一下层3。
硅衬底作为中央层1是(CZ 或FZ)n型晶体衬底,即在其主体内尤其没有包含硼原子,除了是微量的(在本发明中微量的定义是,硼,表示为[B],其浓度为0至1×1016at/cm3之间)。
在本发明中,钝化层2、3是由氢化非晶硅(a-Si∶H)构成的。
晶体硅衬底1包含杂质应当是最小量的,以最大限度的提高光伏电池性能。同样,在晶体硅1以及非晶硅(a-Si∶H)层2、3之间的界面在沉积之前必须尽可能地清洁和钝化,以保证非常好的电压穿过电池端子。这些清洁是以去除有机物和金属颗粒为目的,并且通过H使在表面上残留的表面缺陷饱和。一定数量的不同效能的清洁存在,以改善所述钝化。同样,钝化可以通过改变非晶硅层2-3的性质、其性质为层厚度和掺杂来改善。
非晶硅层2或3分别被由透明导电氧化物组成的上位层4和下位层5覆盖。
金属电极6被放置在透明导电氧化物层4的自由边,被称为“正面”,因为它的目的是用于接收光通量;金属电极7放置在透明导电氧化物层5的自由边,称为“背面”,与正面相对应。
上述的电级6由金属网格栅组成,以使光子可以通过硅层1、2和3。
上述的电极7可以是一个网格(如电极6),或一个连续层。在这种情况下,光子无法通过这个不透明层到达硅层1、2和3。
德沃尔夫等人的文章(Physical Review B, vol. 83, no. 23, 7 June 2011, pages 233301-1 – 233301-4, XP55025598)中研究光致降解(LID)在由氢化非晶硅钝化的晶体硅构成的区域的影响。本研究的目的是通过参数τeff(载流子寿命)对主体的性质和稳定性以及非晶硅中的界面缺陷进行分析,参数τ只明确纯化的质量。这篇文章并未提出任何改进,乃至异质结光伏电池的稳定性能(特别是效率)。相反,这篇文章(图1b)显示了作为时间的函数的该系数的变量,在光照下对于a-Si∶H/c-Si(111)和a-Si∶H /c-Si(100)并不好,因为在稍有改善后,6小时后出现下降。
为了提高光伏电池的效率,对电池在加电压下进行热处理(加热电池至温度为50℃至230℃之间)的方法已经被提出。这种处理方法已经被用于制备硼原子掺杂的硅电池。特别地,这类电池可以看到它们的能量转换效率在其使用(即在被照射的情况下)的过程中降低。这种效果与其配合物的构成有关,在照射条件下,所述配合物为在取代位置(Bs)和氧二聚体(Oi2)中连结一个棚原子。在照射条件下,移动的氧二聚体向静止的硼原子扩散。所形成的配合物在硅的带隙中引入了深能级,因此允许自由电荷重组,从而降低电荷载流子的寿命和电池的能量转换效率。
对于n型异质结电池(即一个作为中央层1的硅衬底不包含硼,除非是极其微量),申请人已经发现这样的处理可以提高电池的效能,即使该电池不含有硼,除非是只含有微量的硼。
发明内容
因此,本发明的目的是提供一种不含硼的n-型光伏电池的处理方法。
为此,本发明在热处理过程中照射所述n型异质结电池,其热处理在温度20至200℃之间进行的。
更特别地,本发明涉及一种n型光伏电池的处理方法,以提高和稳定其性能,所述方法包括以下步骤:
— 提供一个n型异质结光伏电池,其包括一个中央晶体硅层,设置在中央晶体硅层上方或下方的由氢化非晶硅构成的钝化层;和
—将电池加热至20℃至200℃之间,加热一定处理时间,同时为光电池提供一定的光通量。
在其它实施例中:
·光通量可能高于或等于100W/m2,优选为大于或等于250W/m2,并更有利地为高于或等于500W/m2;
·所述的一定处理时间可以少于48h,更优选为30min至12h之间,并更有利地为约10h;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





