[发明专利]振子及振动陀螺仪

权利要求书

1.一种振子，其具备：

第一环状部；

第二环状部，其配置在所述第一环状部的外侧；以及

连结部，其将所述第一环状部和所述第二环状部连结，其中，

所述第二环状部通过连结直线状的梁部而构成，

所述连结部将所述第一环状部和所述梁部的中心部连结。

2.根据权利要求1所述的振子，其中，

所述第一环状部的平面形状为圆环状，

所述第二环状部的平面形状为矩形环状。

3.根据权利要求1或2所述的振子，其中，

所述振子具备悬臂梁部，该悬臂梁部以从所述第一环状部的与所述连结部连结的连结位置向所述第一环状部的径向内侧延伸的方式设置。

4.根据权利要求3所述的振子，其中，

所述振子具备与所述悬臂梁部的端部连接的重物部。

5.一种振动陀螺仪，其具备：

权利要求1～4中任一项所述的振子；

驱动部，其以使所述振子以第一面内振动模式进行振动的方式驱动所述振子；以及

检测部，其对通过柯氏力而在以所述第一面内振动模式进行振动的所述振子上产生的所述振子的第二面内振动模式的振动进行检测，其中，该柯氏力通过绕着与所述第一环状部的主面正交的旋转轴的角速度而施加在所述振子上。

6.根据权利要求5所述的振动陀螺仪，其中，

所述第二环状部具有多个角部，

并具备在所述角部支承所述振子的支承部。

7.根据权利要求5或6所述的振动陀螺仪，其中，

所述振子由硅基板构成，

所述驱动部及所述检测部具备压电体膜和接地电极、以及驱动电极或检测电极。

8.根据权利要求7所述的振动陀螺仪，其中，

所述压电体膜、所述接地电极、所述驱动电极、所述检测电极仅设置在所述振子的一个面上。

9.根据权利要求8所述的振动陀螺仪，其中，

所述驱动部及所述检测部具备浮动电极，

所述驱动电极或所述检测电极以经由所述压电体膜而与所述浮动电极对置的方式设置。

10.根据权利要求8所述的振动陀螺仪，其中，

所述驱动电极具有：以经由所述压电体膜而与所述接地电极对置的方式设置的第一驱动电极；经由所述压电体膜与所述接地电极对置，且与所述第一驱动电极相邻设置的第二驱动电极。