[发明专利]玻璃板切断方法

权利要求书

1.一种玻璃板切断方法，沿着玻璃板的切断预定线从上方照射激光，以所述切断预定线为交界而将所述玻璃板熔断分离，其特征在于，

所述激光包括进行所述玻璃板的熔断的熔断用激光和进行所述玻璃板的熔断端面的退火的退火用激光，

所述退火用激光经由通过所述熔断而形成的所述熔断端面间的间隙，从上方对所述退火对象的所述熔断端面倾斜照射。

2.根据权利要求1所述的玻璃板切断方法，其特征在于，

在所述退火用激光的照射区域中，形成热能强度从所述切断预定线上的熔断执行部至熔断完成部变化的强度分布。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃板切断方法，其特征在于，

所述退火用激光以随着从所述切断预定线上的熔断未完成部侧向熔断完成部侧而接近所述玻璃板、或者随着从所述切断预定线上的熔断完成部侧向熔断未完成部侧而接近所述玻璃板的方式倾斜。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的玻璃板切断方法，其特征在于，

所述退火用激光的与光轴正交的截面处的光束形状为椭圆形状。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的玻璃板切断方法，其特征在于，

所述退火用激光的照射区域以跨至所述熔断用激光的照射区域的前后的方式与所述熔断用激光的照射区域重叠而形成。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的玻璃板切断方法，其特征在于，

所述熔断用激光和所述退火用激光通过使从同一光源射出的激光分支而形成。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的玻璃板切断方法，其特征在于，

所述熔断用激光和所述退火用激光从不同的光源射出而形成。

8.一种玻璃板切断方法，沿着玻璃板的切断预定线照射熔断用激光及退火用激光，以所述切断预定线为交界而将所述玻璃板熔断分离，其特征在于，

在沿着所述切断预定线的熔断进行方向上，所述退火用激光的照射区域的尺寸比所述熔断用激光的照射区域的尺寸大，并且，

以所述退火用激光的照射区域跨至所述熔断用激光的照射区域的所述熔断进行方向上的前后的方式使所述退火用激光的照射区域与所述熔断用激光的照射区域重叠。

9.根据权利要求8所述的玻璃板切断方法，其特征在于，

所述玻璃板被熔断分离成产品部和非产品部，并且，所述退火用激光的照射区域比起所述非产品部这一侧更偏向所述产品部这一侧地形成。

10.根据权利要求8或9所述的玻璃板切断方法，其特征在于，

所述熔断用激光的照射区域在比所述熔断进行方向上的所述退火用激光的照射区域的中心位置靠所述熔断进行方向上的前方侧的位置处，与所述退火用激光的照射区域重叠。

11.根据权利要求8～10中任一项所述的玻璃板切断方法，其特征在于，

所述退火用激光的照射区域形成为在所述熔断进行方向上长的细长形状。

12.根据权利要求11所述的玻璃板切断方法，其特征在于，

所述退火用激光从倾斜的方向对所述玻璃基板的表面进行照射。

13.根据权利要求8～12中任一项所述的玻璃板切断方法，其特征在于，

所述熔断用激光的波长与所述退火用激光的波长互不相同。

14.根据权利要求13所述的玻璃板切断方法，其特征在于，

所述熔断用激光光束和所述退火用激光光束是由互不相同的振荡器振荡出的光束。