[发明专利]醇化合物及其制造方法、内酯化合物的制造方法、（甲基）丙烯酸酯及其制造方法、聚合物及其制造方法、抗蚀剂组合物及利用其的基板的制造方法

权利要求书

1.一种醇化合物的制造方法，其特征在于，是制造下述通式（D）表示的醇化合物的方法，

具有硼氢化反应工序和酸处理工序，所述硼氢化反应工序是在溶剂中使下述通式（C）表示的化合物与选自乙硼烷和硼烷配位化合物中的硼化剂反应而得到反应液，所述酸处理工序是将该反应液进行过氧化氢处理后，加入酸而使得pH为0.5～4；

式中，A₁～A₆各自独立地表示氢原子、甲基、或乙基，X表示氧原子、硫原子、亚甲基、或亚乙基。

2.根据权利要求1所述的醇化合物的制造方法，其中，作为所述硼化剂，使用硼烷-二甲基硫醚配位化合物或硼烷-1,2-二甲氧基乙烷配位化合物。

3.根据权利要求1或2所述的醇化合物的制造方法，其中，具有离析工序，所述离析工序是将所述酸处理工序后的反应液调整为pH5～9而进行重结晶，从而离析所述通式（D）表示的醇化合物。

4.一种内酯化合物的制造方法，其特征在于，将下述式（1）表示的化合物用硼氢化钠进行还原来制造下述式（2）表示的内酯化合物和/或下述式（3）表示的内酯化合物的方法中，

相对于下述式（1）表示的化合物，所述硼氢化钠的使用量为0.7～0.95倍摩尔；

式中，R¹¹～R¹⁶各自独立地表示氢原子、甲基或乙基；A¹¹和A¹²均为氢原子、或者连结而形成-CH₂-、-CH₂CH₂-、-O-、或-S-。

5.根据权利要求4所述的内酯化合物的制造方法，其中，所述式（1）表示的化合物为下述式（4）表示的化合物，

所述式（2）表示的内酯化合物为下述式（5）表示的内酯化合物，

所述式（3）表示的内酯化合物为下述式（6）表示的内酯化合物，

式中，R¹¹～R¹⁶各自独立地表示氢原子、甲基或乙基，X表示氧原子、硫原子、亚甲基、或亚乙基。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的醇化合物的制造方法，其中，还具有利用所述权利要求4或5所述的内酯化合物的制造方法而制造所述通式（C）表示的化合物的工序。

7.一种（甲基）丙烯酸酯的制造方法，其特征在于，具有以下工序：

通过所述权利要求1～3中任一项所述的醇化合物的制造方法，由下述通式（C）表示的化合物得到下述通式（D）表示的醇化合物的工序，以及

通过酯化反应由下述通式（D）表示的化合物得到下述式（A）表示的（甲基）丙烯酸酯的工序，

式中，R₁表示氢原子或甲基，A₁～A₆各自独立地表示氢原子、甲基、或乙基，X表示氧原子、硫原子、亚甲基、或亚乙基。

8.根据权利要求7所述的（甲基）丙烯酸酯的制造方法，其中，还具有利用所述权利要求4或5所述的内酯化合物的制造方法而制造所述通式（C）表示的化合物的工序。

9.一种下述通式（D）表示的醇化合物，其特征在于，作为杂质，下述通式（ii）表示的化合物的含量小于9质量%，

式中，A₁～A₆各自独立地表示氢原子、甲基、或乙基，X表示氧原子、硫原子、亚甲基、或亚乙基。

10.一种下述通式（A）表示的（甲基）丙烯酸酯，其特征在于，作为杂质，下述通式（iii）表示的化合物的含量小于9质量%，

式中，R₁表示氢原子或甲基，A₁～A₆各自独立地表示氢原子、甲基、或乙基，X表示氧原子、硫原子、亚甲基、或亚乙基，R¹表示丙烯酰基或甲基丙烯酰基。