[发明专利]氟气生成装置

权利要求书

1.一种氟气生成装置，其通过将含有氟化氢的熔融盐中的氟化氢电解而生成氟气，其特征在于，

上述氟气生成装置包括：

电解槽，其通过在由含有氟化氢的熔融盐构成的电解浴中将氟化氢电解而使阳极侧产生以氟气为主要成分的主产气体，并且使阴极侧产生以氢气为主要成分的副产气体；以及精制装置，其利用吸附剂除去混入到上述主产气体中的氟化氢，

上述精制装置包括：

筒状构件，其使上述主产气体流通；

气体导入口，其用于将上述主产气体导入到上述筒状构件；

气体导出口，其用于从上述筒状构件导出上述主产气体；

吸附剂保持器，其以形成用于确保在上述筒状构件中流通的上述主产气体流路的空间的方式配置；

搅拌部件，其用于搅拌从上述气体导入口流入的上述主产气体；以及

气流引导筒，其用于使上述主产气体在上述筒状构件内的空间中循环或者扩散。

2.根据权利要求1所述的氟气生成装置，其特征在于，

上述气流引导筒是两端面开口的筒形状，其以沿着上述筒状构件的内周面延伸的方式设置。

3.根据权利要求1或2所述的氟气生成装置，其特征在于，

上述搅拌部件在从上述气体导入口流入的上述主产气体的流入方向上位于上述气体导入口和上述吸附剂保持器之间。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的氟气生成装置，其特征在于，

设有循环路径，该循环路径使从上述筒状构件内排出来的上述主产气体的一部分循环并将其再次导入到上述筒状构件内。