[发明专利]制备具有多层电极和垫层的触敏装置的方法

权利要求书

1.一种制备用于触敏装置的传感器部件的方法，所述方法包括：

用剥离掩模将基底图案化，以生成图案化基底；

将垫层涂覆到所述图案化基底；

将多层电极层涂覆到所述垫层，其中所述多层电极层包括透明或半透明的第一导电层、透明或半透明的第二导电层、以及位于所述第一导电层和第二导电层之间的透明或半透明的居间层，所述居间层包括所述第一导电层和第二导电层之间的导电通道；

移除所述剥离掩模而形成图案化垫层。

2.根据权利要求1所述的方法，其中移除所述剥离掩模包括移除所述剥离掩模上方的层。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一导电层和第二导电层各自包含透明或半透明的导电氧化物。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述导电通道包括延伸穿过所述第一导电层和第二导电层之间的窗孔的导电联接件。

5.根据权利要求1所述的方法，其中涂覆垫层包括涂覆第一子层，然后涂覆第二子层，所述第一子层和第二子层具有彼此不同的折射率。

6.根据权利要求5所述的方法，其中涂覆垫层还包括涂覆多个附加子层。

7.根据权利要求1所述的方法，其中移除所述剥离掩模使得所述垫层和所述多层电极层具有相同的图案。