[发明专利]用于热处理衬底的设备和其中检测测量数据的方法

权利要求书

1.用于热处理衬底的设备(100；300)，包括：

-至少一个可加热的室(102；302)；

-载体系统(108；308)，其设计用于承载衬底，其中该载体系统(108；308)设计为传送系统；

-传感器装置(112；212；312)，其设置用于与数据检测和/或数据存储装置(130)耦连；

-独立于载体系统(108；308)的执行器(111；211；311)，其与传感器装置(112；212；312)耦连并且设置用于在可加热的室(102；302)内驱动和定位传感器装置(112；212；312)。

2.根据权利要求1所述的设备(100；300)，其中，可加热的室(102；302)是连续式加热炉。

3.根据权利要求1或2所述的设备(100；300)，其中，设备(100；300)具有控制装置(140)，其设置用于机电式控制执行器(111；211；311)，使得传感器装置(112；212；312)可沿至少一条预先规定的移动路径移动和定位。

4.根据权利要求3所述的设备(100；300)，其中，所述至少一条移动路径沿垂直于通过方向(124；224)的方向延伸。

5.根据权利要求3或4所述的设备(100；300)，其中，所述行驶路径另外沿着或者逆向于通过方向(124；224)延伸。

6.根据权利要求3到5之一所述的设备(100；300)，其中，控制设备(140)设置用于连续地驱动传感器装置(112；212；312)。

7.根据权利要求3到5之一所述的设备(100；300)，其中，控制设备(140)设置用于步进式驱动传感器装置(112；212；312)。

8.根据权利要求1到7之一所述的设备(100；300)，其中，载体系统(108；308)设计为链引导的传送系统。

9.根据权利要求1到8之一所述的设备(100；300)，还包括可伸缩延长的设备(218)，在它的一端设置传感器装置(112；212；312)，并且所述可伸缩延长的设备(218)与执行器(111；211；311)连接。

10.根据权利要求1到9之一所述的设备(100；300)，其中，传感器装置(112；212；312)设置在衬底上，衬底由硅或者具有与硅可比的热特性的材料构成。

11.根据权利要求1到10之一所述的设备(100；300)，其中，传感器装置包括至少一个温度传感器和/或至少一个振动传感器和/或至少一个流动传感器和/或至少一个光传感器。

12.根据权利要求11所述的设备(100；300)，其中，传感器装置(112；212；312)具有热电偶。

13.根据权利要求11所述的设备(100；300)，其中，传感器装置(112；212；312)具有行排列的热电偶。

14.根据权利要求11所述的设备(100；300)，其中，传感器装置(112；212；312)具有平面内二维排列的热电偶。

15.根据权利要求1到14之一所述的设备(100；300)，其中，在执行器(111；211；311)和传感器装置(112；212；312)之间设置耐热的屏蔽体(116；216；316)。

16.根据权利要求1到15之一所述的设备(100；300)，其中，执行器(111；211；311)设置用于使传感器装置(112；212；312)围绕轴线(208)转动。

17.根据权利要求1到16之一所述的设备(100；300)，其中，执行器(111；211；311)包括XYZ线性定位系统。

18.根据权利要求1到17之一所述的设备(100；300)，其中，执行器(111；211；311)包括至少一个直线轴承和/或滑动轴承(207)。

19.根据权利要求1到18之一所述的设备(100；300)，还包括一个编码器，其设置用于确定传感器装置(112；212；312)的位置。