[发明专利]泵的流量控制方法和涂膜形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及对输送液体的泵的流量进行控制的方法和在涂敷面排出由泵输送的涂料形成涂膜的方法。

背景技术

一般而言，在液体的输送用所使用的活塞泵、隔膜泵等的容积泵中，具有滑动部，因此发生轻微的粘滑（stick slip）现象，为了挽回时间的、位置的延迟，利用伺服电动机（伺服电机）等具有反馈机构的电动机控制泵的流量（例如参照专利文献1）。

图3是表示这种隔膜泵的一个例子的概略结构的框图。该泵10包括主体11、线性电动机12、活塞13、隔膜14、连结模块16、线性电动机模块17、线性电动机导向件18。

在主体11的一端面形成有吸入口11A和排出口11B。在主体11的另一端面侧安装有线性电动机12。在主体11内形成有压力室11C和动力室11D。压力室11C和动力室11D由被支承于主体11的隔膜14隔离。吸入口11A和排出口11B与压力室11C连通。在动力室11D中，在主体11的内壁设置有线性电动机导向件18。在线性电动机导向件18，自由滑动地设置有线性电动机模块17。活塞13经由连结模块16与线性电动机模块17连结。在隔膜14的动力室11D侧的面，突出地设置有凸起14A。在凸起14A插装有活塞13的前端。

在该隔膜泵的结构中，当线性电动机12被驱动时，活塞13在固定的直线轨道上往复运动，隔膜14也与其联动进行往复运动。由此，压力室11C内的压力发生脉动，从吸入口11A吸入的液体被从排出口11B排出。

线性电动机12具有反馈机构。换而言之，命令部20经由控制部30控制线性电动机12，检测器40确认控制状态并反馈至控制部30.控制部30对检测信号和指令信号（目标值）进行比较，当存在差时，使线性电动机12向减少与目标值的差量的方向动作。这样，与目标位置的差量减少。反复进行该步骤，最终到达目标值或继续该步骤直至进入允许范围。

如图4（A）所示，考虑如下情况：在作为泵10的待机期间的时间T1之前，指令信号为零，在时间T1，使指令信号从零开始线性增加，在时间T2（T2＞T1）达到稳定值S，之后保持在该值。

在上述泵10的结构中，线性电动机模块17沿线性电动机导向件18滑动，因此在该滑动部F中从静摩擦转移至动摩擦的最初期间发生粘滑现象。换而言之，表示线性电动机12的实际工作状态的检测信号不能追随指令信号，稍微延迟，从时间T1’（T1’＞T1）起开始增加。由此，检测信号与目标值间产生差。上述反馈机构进行控制以使该差减少。

然而，反馈机构采用特有的控制也具有难点，但是为了快速挽回不足之处，对信号加速，在时间TA（T1＜TA＜T2）检测信号达到目标值后，该加速的趋势不能快速停止，而如图所示导致调整过多。现在，为了消除该过剩量，反馈机构向相反方向工作。因此，使差异收敛到零附近需花费一定程度的时间TB（TA＜TB＜T2）。

这样，反馈机构工作期间的线性电动机12的动作也会对泵10的流量带来影响。换而言之，在图4（B）的例中，在时间T1～TA期间，与理想流量相比，流量不足，在时间TA～TB期间，与理想流量相比，流量过剩。即，至少在时间T1～TB期间，泵的流量出现紊乱，变得不稳定。特别是，在泵的流量对产品的品质产生直接影响的用途例如固态成分浓度高且液膜的形状原样地反映于干燥膜上的用途、在基板上均匀形成膜厚100nm以下的薄膜的用途等中，不能控制泵的工作初期的膜厚，存在不能有效利用涂敷在基板上的面积的问题。

现有技术问题

专利文献

专利文献1：日本特开2005-76492号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

本发明是为了解决上述的技术问题而完成的，其目的在于能够稳定地控制泵的工作初期的流量。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的泵的流量控制方法是由具有滑动部的驱动系统驱动而输送液体的泵的流量控制方法，其中，在泵的工作初期，使流量保持在微小的第一流量后，使流量增加至稳定的第二流量。

根据该方法，在泵的工作初期，预先建立泵稳定在微小的第一流量的状态，使得不发生粘滑现象，从该状态起使泵流量增加，因此不发生静摩擦至动摩擦的转移，电动机的粘滑现象引起的泵流量的紊乱受到抑制。由此，能够稳定地控制泵的工作初始的流量。例如，能够进行使流量线性地从上述第一流量增加至上述第二流量的控制。此外，在从停止状态开始以第一流量排出的状态的情况下发生的粘滑引起的流量排出不稳定，因为第一流量极其微小，所以对膜产生的影响能够抑制得极其微小。