[发明专利]用于扩宽激光射束的装置和方法

权利要求书

1.一种用于扩宽激光射束的装置(11，13)，所述装置包括：

望远装置(6)和在发散的光路中设置在所述望远装置后面的透镜(3)，所述望远装置具有第一、第二球面折叠镜(7，8)，所述透镜具有用于经扩宽的激光射束的准直的球面透镜面(3a)，其中，光路中的第一球面折叠镜是凸地弯曲的球面折叠镜(7)，所述凸地弯曲的球面折叠镜(7)设置成用于扩宽入射的、准直的激光射束，其中，光路中的第二球面折叠镜是凹地弯曲的球面折叠镜(8)，所述凹地弯曲的球面折叠镜(8)布置在来自第一球面折叠镜的发散的光路中并设置成使所述发散的光路保持发散并且设置成与所述透镜(3)一起在所述发散的光路中准直经扩宽的激光射束以得到准直的出射激光射束。

2.根据权利要求1所述的装置，所述激光射束是紫外激光射束。

3.根据权利要求1所述的装置，所述装置还包括用于在经准直的激光射束的射束方向(X，Y)上移动所述透镜(3)的移动装置(12)。

4.根据权利要求1至3之一所述的装置，其中，所述透镜是平凸透镜，其凸的球面透镜面(3a)背向所述望远装置(6)。

5.根据权利要求1至3之一所述的装置，其中，入射到所述望远装置(6)中的激光射束的射束方向(X)和从所述望远装置(6)出射的激光射束的射束方向(X)相互平行地延伸。

6.根据权利要求1至3之一所述的装置，其中，入射到所述望远装置(6)中的激光射束的光路与从所述望远装置(6)出射的激光射束的光路相交。

7.根据权利要求1至3之一所述的装置，所述装置还包括用于所述激光射束从红外范围中的波长到紫外范围中的波长的频率转换的频率转换装置(17)。

8.根据权利要求1至3之一所述的装置，所述装置还包括用于产生激光射束的激光器(19)。

9.根据权利要求8所述的装置，所述激光射束具有红外范围中的波长。

10.根据权利要求1至3之一所述的装置，所述装置还包括用于相对于经扩宽的、发散的激光射束的射束方向(X，Y)翻转所述透镜(3)的翻转装置(16)。

11.根据权利要求1至3之一所述的装置，其特征在于，所述球面透镜面的弯曲半径、所述凸地弯曲的球面折叠镜的弯曲半径和所述凹地弯曲的球面折叠镜的弯曲半径协调一致，以使得出射的激光射束是经准直的并且像差基本上相互补偿，从而获得衍射限制的成像。

12.一种用于借助于具有第一、第二球面折叠镜(7，8)的望远装置(6)扩宽激光射束的方法，其中，光路中的第一球面折叠镜是凸地弯曲的球面折叠镜(7)，其中，光路中的第二球面折叠镜是凹地弯曲的球面折叠镜(8)，所述方法包括：

在所述光路中的第一球面折叠镜(7)处扩宽入射的、准直的激光射束；

在布置于来自所述第一球面折叠镜(7)的发散的光路中的第二球面折叠镜(8)处以及在所述发散的光路中在所述望远装置后面设置的透镜(3)处准直经扩宽的激光射束，所述透镜(3)具有球面透镜面(3a)，

其中，第二球面折叠镜(8)设置成使所述发散的光路保持发散并且设置成与所述透镜(3)一起在所述发散的光路中准直经扩宽的激光射束以得到准直的出射激光射束。

13.根据权利要求12所述的方法，所述激光射束是紫外激光射束。

14.根据权利要求12或13所述的方法，其特征在于，所述球面透镜面的弯曲半径、所述凸地弯曲的球面折叠镜的弯曲半径和所述凹地弯曲的球面折叠镜的弯曲半径协调一致，以使得出射的激光射束是经准直的并且像差基本上相互补偿，从而获得衍射限制的成像。