[发明专利]具有工件收纳部和补偿质量的振动装置

权利要求书

1.一种具有工件收纳部（2）的设备（1），该工件收纳部（2）用于收纳待机械加工的工件（28），其中至少一个振动装置（9）连接至所述工件收纳部（2），所述振动装置（9）使所述工件收纳部（2）发生振动，其中所述工件收纳部（2）的振动具有比超声波的频率低的频率，其特征在于，所述振动装置（9）具有振动体（8），在相反方向上振动的补偿质量（7）与该振动体（8）相关联。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述工件收纳部（2）的振动频率低于10kHz，优选低于5kHz，特别地低于1kHz，特别优选在500Hz和50Hz之间。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述补偿质量（7）以与所述振动体（8）相同的频率但比所述振动体（8）高的幅度进行振动。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的设备，其特征在于，所述振动装置（9）具有至少一个压电元件（10，10’）。

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，为了使所述振动体（8）在平面内运动，设置具有优选彼此垂直地布置的运动方向的至少两个压电元件（10）。

6.根据权利要求4或5所述的设备，其特征在于，基本相同类型和数量的压电元件（10’）接合所述补偿质量（7）和所述振动体（8）。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的设备，其特征在于，设置控制和/或调节装置（11）来控制和/或调节与所述振动体（8）相关联的压电元件（10）和与所述补偿质量（7）相关联的压电元件（10’）的相反运动。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，距离和/或加速度传感器与所述振动体（8）和所述补偿质量（7）相关联，其中所测量的值作为实际值供应给所述控制和/或调节装置（11）。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的设备，其特征在于，所述振动体（8）和/或所述补偿质量（7）被支撑在至少一个空气轴承（12）上。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的设备，其特征在于，设置板状工件收纳部（2），该板状工件收纳部（2）优选由空气轴承（12）支撑在基体的盖板（24）上。

11.根据权利要求10所述的设备，其特征在于，所述板状工件收纳部（2）被牢固地连接至对置板（26），其中所述补偿质量（7）布置在该板状工件收纳部（2）和该对置板之间。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的设备，其特征在于，所述设备（1）布置在定位设备（20）上。

13.根据权利要求12所述的设备，其特征在于，所述定位设备（20）的高达五个轴是可调节的。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的设备，其特征在于，所述振动装置（9）的至少一个振动方向（x’、y’、z’）从切屑去除刀具（27’）优选从铣刀的运动方向（29）偏离。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的设备，其特征在于，设置用于切屑去除加工的优选为铣刀的刀具（27’），该刀具（27’）由冷却液体（31）和/或冷却润滑脂冷却。

16.一种用于机械加工工件（28）的方法，其中使所述工件（28）发生振动，并且所述工件（28）的振动频率低于超声波的频率，其特征在于，由所述振动引入到所述工件（28）中的动量被主动地解耦。

17.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，所述工件（28）的振动频率低于10kHz，优选低于5kHz，特别地低于1kHz，特别优选在500Hz和50Hz之间。