[发明专利]电极箔、其制造方法以及电容器

说明书

技术领域

本发明涉及电极箔、其制造方法以及电容器。

背景技术

固体电解电容器、铝电解电容器等电容器被用于个人计算机、电视。具有低等效串联电阻（Equivalent Series Resistance：ESR）的固体电解电容器被用作个人计算机的CPU的外围设备。铝电解电容器被用于液晶电视的背光源用途。迫切期望使这些电容器小型大容量化。

铝电解电容器具有将在表面形成有电介质膜的阳极箔、和在表面形成有电介质膜的阴极箔隔着隔离件缠绕成的电容器元件。作为阳极箔，使用铝箔。通过对铝箔进行阳极氧化，从而形成作为电介质膜的氧化铝。

由于氧化铝的介电常数低、电容也低，因此对于形成介电常数高的氮化钛的氧化物代替氧化铝来作为电介质膜的方案进行了研究。

作为上述的现有技术文献，已知例如专利文献1、2。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004－265951号公报

专利文献2：日本特开平5－009790号公报

发明内容

本发明的电极箔具有：包含金属材料的基材；形成在基材上的包含金属氧化物的第一层；形成在第一层上的包含TiNxOy（x＞y＞0）的第二层；以及形成在第二层上的包含TiNxOy（0＜x＜y）的第三层。

附图说明

图1是本发明的实施方式的电容器的部分挖剪后的立体图。

图2是本发明的实施方式的电极箔即阳极箔的剖视图。

图3是本发明的实施方式的阳极箔的示意剖视图。

图4是表示本发明的实施方式的阳极箔的距离表面的深度（换算值）与原子浓度的关系的图。

图5是表示本发明的实施方式的化成前的阳极箔的SEM照片的图。

图6是表示本发明的实施方式的化成后的阳极箔的SEM照片的图。

图7是比较例1的阳极箔的示意剖视图。

图8是表示比较例1的阳极箔的距离表面的深度（换算值）与原子浓度的关系的图。

图9是比较例2的阳极箔的示意剖视图。

图10是表示比较例2的化成前的阳极箔的SEM照片的图。

图11是表示比较例2的阳极箔的距离表面的深度（换算值）与原子浓度的关系的图。

图12是比较例3的阳极箔的示意剖视图。

图13是表示比较例3的化成前的阳极箔的SEM照片的图。

图14是表示比较例3的阳极箔的距离表面的深度（换算值）与原子浓度的关系的图。

图15是比较例4的阳极箔的示意剖视图。

图16是表示比较例4的化成前的阳极箔的SEM照片的图。

图17是表示比较例4的阳极箔的距离表面的深度（换算值）与原子浓度的关系的图。

图18A是本发明的实施方式的另一阳极箔的俯视图。

图18B是图18A的18B-18B剖视图。

图19是本发明的实施方式的另一电容器的透视立体图。

具体实施方式

以往的电容器的电介质膜所使用的氮化钛的氧化物的介电常数比氧化铝高。但是，由于氮化钛的氧化物容易发生结晶化、耐压性低，因此在用于电容器时漏电流较大。在本实施方式中，对电容大、漏电流少的电容器进行说明。

（实施例1）

以下，在本实施例中，以缠绕型铝电解电容器为例进行说明，但是也可以将本实施例的电极箔用于其它电容器。

图1是本发明的实施方式的电容器的部分挖剪后的立体图。电容器1具有电容器元件5、和浸渗于电容器元件5的阴极材料（未图示），所述电容器元件5是将作为阳极部的电极箔（以下，称为阳极箔2）、和作为阴极部的电极箔（以下，称为阴极箔3）隔着隔离件4缠绕而成的元件。电容器1还具有：与阳极箔2连接的阳极端子6、与阴极箔3连接的阴极端子7、以在外部露出阳极端子6和阴极端子7的一部分的方式收容电容器元件5的壳体8、以及用于密封壳体8的密封部件9。作为阴极材料，使用电解液、包含导电性聚合物的固体电解质。或者，也可以使用并用了电解液和固体电解质的阴极材料。

图2是本发明的实施方式的阳极箔的剖视图。阳极箔2具有基材10和基材10的表面的电介质膜11。作为基材10，使用铝。可以利用蚀刻对基材10的表面进行粗面化。此外，也可以利用蒸镀、镀敷等在基材10的表面层叠铝粒子来进行粗面化。此外，作为基材10，除铝以外也可以使用硅、钛、镍、铜等金属。