[发明专利]光学器件的制造方法和制造装置有效

专利信息
申请号: 201280020434.7 申请日: 2012-04-19
公开(公告)号: CN103493229A 公开(公告)日: 2014-01-01
发明(设计)人: 宫胁芳照;大木淳;耕纳大辅;岩崎信彦 申请(专利权)人: 三友瑞克株式会社;株式会社进和
主分类号: H01L33/58 分类号: H01L33/58;H01L21/56
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 光学 器件 制造 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种光学器件的制造方法,其特征在于,包括:

利用液态树脂将安装于基材的光半导体元件密封成透镜状的密封工序;和使所述液态树脂固化的固化工序,其中

所述密封工序,在使分配器的喷嘴的前端接近所述光半导体元件后,一边使所述喷嘴相对于所述基材相对地上升一边进行所述液态树脂的供给。

2.如权利要求1所述的光学器件的制造方法,其特征在于:

所述密封工序具有在使所述液态树脂的供给停止后,在所述液态树脂的液体用尽发生前,使所述喷嘴进一步上升的工序。

3.如权利要求1所述的光学器件的制造方法,其特征在于:

所述光半导体元件配置于所述基材所具有的凹部内,

所述密封工序,具有使所述喷嘴的前端从所述凹部的内部上升的工序。

4.如权利要求1所述的光学器件的制造方法,其特征在于:

所述密封工序具有如下工序:在使所述液态树脂的供给停止后,使所述喷嘴在水平方向移动,以使得在被供给至所述基材的所述液态树脂的正上方发生液体用尽。

5.如权利要求1所述的光学器件的制造方法,其特征在于:

所述密封工序具有如下工序:以包围所述光半导体元件的方式,一边使所述喷嘴移动一边供给所述液态树脂,由此在所述基材上预先形成环状的堰部。

6.如权利要求1所述的光学器件的制造方法,其特征在于:

所述密封工序具有在所述液态树脂的供给期间使供给速度变化的工序。

7.如权利要求1所述的光学器件的制造方法,其特征在于:

所述固化工序在加压下进行。

8.如权利要求1所述的光学器件的制造方法,其特征在于:

所述液态树脂的粘度(23℃)为10~200Pa.s,触变性为2.0~7.0。

9.如权利要求1所述的光学器件的制造方法,其特征在于:

所述分配器是螺旋式、喷注式或容积计量式中的任一种。

10.一种光学器件的制造方法,其特征在于,包括:

利用第一液态树脂密封安装于基材的光半导体元件的第一密封工序;使所述第一液态树脂暂时固化的第一固化工序;利用第二液态树脂将暂时固化后的所述第一液态树脂密封成透镜状的第二密封工序;和使所述第一液态树脂和第二液态树脂正式固化的第二固化工序,其中

所述第一密封工序中,在使第一分配器的喷嘴的前端接近所述光半导体元件后,一边使所述喷嘴相对于所述基材相对地上升一边进行所述第一液态树脂的供给,

所述第二密封工序中,在使第二分配器的喷嘴的前端接近所述第一液态树脂后,一边使所述喷嘴相对于所述基材相对地上升一边进行所述第二液态树脂的供给。

11.如权利要求10所述的光学器件的制造方法,其特征在于:

所述光半导体元件配置于所述基材所具有的凹部内,

所述第一密封工序具有如下工序:使所述喷嘴的前端从所述凹部的内部上升,在比所述凹部的开口更靠下方处将所述光半导体元件密封成透镜状。

12.一种光学器件制造装置,其特征在于,包括:

利用液态树脂将安装于基材的光半导体元件密封成透镜状的密封装置;和使所述液态树脂固化的固化装置,其中

所述密封装置,具有能够使供给所述液态树脂的喷嘴相对于所述基材相对地上下移动的分配器,在使所述喷嘴的前端接近所述光半导体元件后,一边使所述喷嘴相对于所述基材相对地上升一边进行所述液态树脂的供给。

13.一种光学器件制造装置,其特征在于,包括:

利用第一液态树脂密封安装于基材的光半导体元件的第一密封装置;使所述第一液态树脂暂时固化的第一固化装置;利用第二液态树脂将暂时固化后的所述第一液态树脂密封成透镜状的第二密封装置;和使所述第一液态树脂和第二液态树脂正式固化的第二固化装置,其中

所述第一密封装置,具有能够使供给所述第一液态树脂的喷嘴相对于所述基材相对地上下移动的第一分配器,在使所述第一分配器的喷嘴的前端接近所述光半导体元件后,一边使所述喷嘴相对于所述基材相对地上升一边进行所述第一液态树脂的供给,

所述第二密封装置,具有能够使供给所述第二液态树脂的喷嘴相对于所述基材相对地上下移动的第二分配器,在使所述第二分配器的喷嘴的前端接近所述第一液态树脂后,一边使所述喷嘴相对于所述基材相对地上升一边进行所述第二液态树脂的供给。

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