[发明专利]喷嘴板制造

权利要求书

1.一种提高喷嘴板制造过程的成品率的方法，所述方法包括：

确定喷嘴板中的喷嘴的尺寸相对于所述喷嘴的预定的尺寸或尺寸范围的变化，已经使用多个心轴来制造所述喷嘴板中的喷嘴，每个心轴限定所述喷嘴板中的相应喷嘴；以及

确定对所述多个心轴中的一个或多个心轴的尺寸的修改，以补偿已确定的在所述喷嘴板中的喷嘴的尺寸的变化。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定修改的步骤包括：增大限定具有小于所述预定的尺寸或尺寸范围的尺寸的喷嘴的心轴的尺寸，以及减小限定具有大于所述预定的尺寸或尺寸范围的尺寸的喷嘴的心轴的尺寸。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述确定修改的步骤包括：将增大或减小所述心轴的尺寸的量确定为与所述喷嘴板中的相应喷嘴不同于所述喷嘴的预定的尺寸或尺寸范围的量相对应的量。

4.根据权利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，在喷嘴板制造过程中，使用掩模在基板上形成所述心轴，并且所述确定修改的步骤包括：确定对用于形成所述心轴的掩模的修改。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述确定修改的步骤包括确定对所述掩模的与有关心轴相对应的区域的修改。

6.根据任一前述权利要求所述的方法，其特征在于，所述确定所述喷嘴板中的喷嘴的尺寸的变化的步骤包括：

用光照射所述喷嘴板；

检测穿过所述喷嘴板中的一个或多个喷嘴传输的光；以及

分析检测到的光以确定所述一个或多个喷嘴的尺寸。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述检测步骤包括：检测穿过所述喷嘴板中的多个喷嘴传输的光，所述多个喷嘴分布在喷嘴板上，并且

其中所述分析检测到的光的步骤包括：分析针对所述多个喷嘴中的每一个检测的光，以确定在喷嘴板上的多个喷嘴的尺寸的变化。

8.根据任一前述权利要求所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括下述步骤：

使用在基板上的多个心轴来制造具有多个喷嘴的喷嘴板，所述多个心轴中的心轴具有在所述确定修改的步骤中确定的尺寸。

9.一种制造喷嘴板的方法，所述方法包括：

使用在基板上的多个心轴来制造具有多个喷嘴的喷嘴板，每个心轴限定所述喷嘴板中的相应喷嘴，所述多个心轴中的心轴具有不同的尺寸以补偿制造过程中的局部变化，而所述局部变化将导致所述喷嘴板中的喷嘴的尺寸相对于预定的尺寸或尺寸范围的局部变化。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述心轴具有较大的尺寸，以补偿制造过程中将导致由此限定的喷嘴的尺寸小于所述预定的尺寸或尺寸范围的局部变化，以及所述心轴具有较小的尺寸，以补偿制造过程中将导致由此限定的喷嘴的尺寸大于所述预定的尺寸或尺寸范围的局部变化。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其特征在于，根据由此限定的喷嘴板中的相应喷嘴将不同于所述喷嘴的预定的尺寸或尺寸范围的量来确定所述心轴的尺寸。

12.根据权利要求9、10或11所述的方法，其特征在于，所述制造喷嘴板的步骤包括围绕所述心轴在基板上沉积材料，并且其中所述制造过程中的局部变化包括所述心轴周围的材料的厚度的局部变化。

13.根据权利要求9-12中任一项所述的方法制造的喷嘴板。

14.一种用于提高喷嘴板制造过程的成品率的设备，所述设备包括：

用于确定所制造的喷嘴板中的喷嘴的尺寸相对于预定的尺寸或尺寸范围的变化的装置，已经使用多个心轴来制造所述喷嘴板中的喷嘴，每个心轴限定所述喷嘴板中的相应喷嘴；以及

用于确定对多个心轴中的一个或多个心轴的尺寸的修改以补偿已确定的在所述喷嘴板中的喷嘴的尺寸的变化的装置。