[发明专利]特别用于在太阳能电池生产期间与硅进行接触的包含金属颗粒并且能够蚀刻的可印刷的介质在审
| 申请号: | 201280017487.3 | 申请日: | 2012-04-05 |
| 公开(公告)号: | CN103493146A | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
| 发明(设计)人: | 吉绍·黑恩;贝恩德·拉比;斯蒂芬·布劳恩 | 申请(专利权)人: | 康斯坦茨大学 |
| 主分类号: | H01B1/22 | 分类号: | H01B1/22;C09D11/033;C09D11/037;C09D11/52;C09K13/02;C09K13/00 |
| 代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 权鲜枝 |
| 地址: | 德国康*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 特别 用于 太阳能电池 生产 期间 进行 接触 包含 金属 颗粒 并且 能够 蚀刻 可印刷 介质 | ||
1.一种可印刷的介质,用于蚀刻出至少一种电介质和非晶硅中至少之一的钝化层(9)的开口,并且用于与紧靠所述钝化层的硅衬底(1)进行导电接触,其中所述可印刷的介质至少包含:
用于化学蚀刻所述钝化层的介质;和
5w.%和90w.%之间的金属颗粒(15),
其中所述可印刷的介质基本不包含玻璃粉。
2.根据权利要求1所述的可印刷的介质,其中所述金属颗粒是镍颗粒和钛颗粒中的至少之一。
3.根据权利要求1或2所述的可印刷的介质,其中所述可印刷的介质包含5w.%和90w.%之间的用于蚀刻所述钝化层的介质。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的可印刷的介质,其中所述金属颗粒具有20nm和50μm之间的尺寸。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的可印刷的介质,其中所述蚀刻介质适于在被所述可印刷的介质覆盖的区域中完全地化学溶解所述钝化层。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的可印刷的介质,其中所述钝化层包含从由氮化硅、氧化硅、氧化铝、碳化硅和非晶硅构成的组中选择的至少一种电介质。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的可印刷的介质,其中所述蚀刻介质包含磷酸、磷酸盐和磷酸化合物中至少之一的一种或多种形式。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的可印刷的介质,其中所述蚀刻介质包含下列中的至少之一:
包括盐酸、磷酸、硫酸、氢氟酸、硝酸的无机矿物酸;
具有1至10个碳原子的烷基的从由烷基碳酸、羟基碳酸和二甲酸构成的组中选择的无机酸,包括甲酸、乙酸、乳酸和乙二酸;以及
包括KOH或NaOH的碱性蚀刻化合物。
9.一种生产太阳能电池的方法,其中所述方法至少包括以下步骤:
提供(S0)硅衬底(1);
在所述硅衬底的表面(7)上用电介质和非晶硅中至少之一沉积(S1)钝化层(9);
在所述钝化层上施加(S2)可印刷的介质,其中所述可印刷的介质至少包含一种用于化学蚀刻所述钝化层的介质和5w.%和90w.%之间的金属颗粒(15),并且其中所述可印刷的介质基本不包含玻璃粉。
10.根据权利要求9所述的方法,进一步包括:
将所述可印刷的介质加热(S3)到200℃和600℃之间的温度。
11.根据权利要求9或10所述的方法,进一步包括:
将所述可印刷的介质加热到超过200℃,持续时间在1s和10min之间。
12.根据权利要求9至11中任一项所述的方法,进一步包括:
通过施加附加的导电层,将由所施加的可印刷的介质形成的金属触点结构(11)加厚(S4)。
13.一种太阳能电池,包括:
硅衬底(1);
所述硅衬底的表面(7)上的至少一种电介质和非晶硅中至少之一的钝化层(9);
所述硅衬底的所述表面上的金属触点(11);
其中所述金属触点具有基于镍颗粒(15)和钛颗粒中至少之一的粒状结构,并且
其中所述金属触点通过所述钝化层中的开口与所述硅衬底接触。
14.根据权利要求13所述的太阳能电池,其中所述金属触点在与所述硅衬底的介面(17)处分别具有硅化镍(19)和硅化钛中的至少之一。
15.根据权利要求13或14所述的太阳能电池,其中所述金属触点(11)在侧面邻接所述钝化层(9)。
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