[发明专利]阻气性膜

权利要求书

1.阻气性膜，在高分子基材的至少一个面上依次层合了以下的[A]层和[B]层，

[A]层：铅笔硬度为Ｈ以上且表面自由能为45mN/m以下的交联树脂层，

[B]层：厚度为10～1000nm的含硅无机层。

2.根据权利要求1所述的阻气性膜，上述[B]层由含有锌化合物和硅氧化物的组成所构成。

3.根据权利要求2所述的阻气性膜，上述[B]层为以下的[B1]层和[B2]层中的任意一种，

[B1]层：包含氧化锌和二氧化硅和氧化铝的共存相的层，

[B2]层：包含硫化锌和二氧化硅的共存相的层。

4.根据权利要求3所述的阻气性膜，上述[B]层为[B1]层，该[B1]层由通过ICP发光分光分析法测定的锌（Zn）原子浓度为20～40atom%、硅（Si）原子浓度为5～20atom%、铝（Al）原子浓度为0.5～5atom%、氧（O）原子浓度为35～70atom%的组成所构成。

5.根据权利要求3所述的阻气性膜，上述[B]层为[B2]层，该[B2]层由相对于硫化锌和二氧化硅的合计而言硫化锌的摩尔分率为0.7～0.9的组成所构成。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的阻气性膜，其特征在于，上述[A]层的平均表面粗糙度Ra为1nm以下。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的阻气性膜，上述[B]层的平均表面粗糙度Ra为1.5nm以下。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的阻气性膜，上述[B]层表面或上述高分子基材和[A]层之间具有透明导电层。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的阻气性膜，上述透明导电层含有铟锡氧化物（ITO）、氧化锌（ZnO）、含铝的氧化锌（Al/ZnO）、含有镓的氧化锌（Ga/ZnO）、金属纳米线、碳纳米管中的任意一种。

10.太阳能电池，具有权利要求1～9中任一项所述的阻气性膜。

11.显示体元件，具有权利要求1～9中任一项所述的阻气性膜。