[发明专利]具有埋设型电极的传感器及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有埋设型电极的传感器及其制造方法，具体而言，涉及一种可减少制造费用并能够广泛应用的具有埋设型电极的传感器及其制造方法。

背景技术

针对用于感测气体、包含红外线的光、生物材料等的传感器的结构及制造方法的研发持续至今。

这种传感器大部分是在基板上形成一对感测电极图案，并形成将感应物质涂覆于一对感测电极图案上的感测膜，从而构成传感器。

这种传感器在有气体或光接触于感测膜时发生感测膜的电导率（或者电阻值）的变化，通过测定电导率的变化而实现感测。

这种传感器大部分通过利用了硅基板的薄膜形成工序等半导体工序制造，或者通过利用了氧化铝基板等的厚膜形成工序制造，因此有制造成本高且工序复杂的缺点，并有因感测电极的短路、断路或脱落而出现的不良情况较多的问题。

发明内容

技术问题

因此，本发明的目的在于提供一种能够克服上述现有技术中的问题的具有埋设型电极的传感器。

本发明的另一目的在于提供一种制造成本低廉的具有埋设型电极的传感器。

本发明的又一目的在于提供一种制造工序简单的具有埋设型电极的传感器。

本发明的又一目的在于提供一种能够用少量的成本形成微细图案的具有埋设型电极的传感器。

本发明的又一目的在于提供一种可实现精确感测的具有埋设型电极的传感器。

本发明的又一目的在于提供一种提高了可靠性的具有埋设型电极的传感器。

本发明的又一目的在于提供一种可自由调节感测电极的长度、宽度或尺寸等的具有埋设型电极的传感器。

本发明的又一目的在于提供一种制造所述传感器的方法。

技术方案

为了达到上述目的，本发明提供一种具有埋设型电极的传感器，包括：感测堆，由第一导电层和第二导电层隔着分离层而被层叠埋设而构成；电极端子，分别电连接于所述第一导电层和第二导电层而设置于所述感测堆的侧面，其中，在除了设置有所述电极端子的侧面以外的至少一个侧面露出所述第一导电层及第二导电层而形成感测面。

优选地，在所述感测面上贯穿整个层叠方向而形成一个以上的狭缝。

优选地，设置有所述电极端子的侧面和所述感测面被上下切割或研磨而达到平整。

而且，优选地，所述第一导电层和第二导电层既可以相互重叠而层叠，也可以使埋设的端部分开而层叠为不重叠。

优选地，可通过使所述第一导电层和第二导电层的长度各不相同，从而使一部分导电层相重叠而其余导电层不重叠。

优选地，所述电极端子可按各导电层分别电分离为多个子电极端子而构成多个独立的传感器模块，且所述子电极端子上可以电连接不同个数的导电层。

优选地，所述电极端子向所述感测面的相反侧面延伸，而所述第一导电层和第二导电层分别在所述电极端子的延伸部分电连接于所述电极端子。

为了达到上述目的，本发明提供一种具有埋设型电极的传感器的制造方法，包括如下步骤：通过夹设分离层而层叠第一导电层和第二导电层，从而形成感测堆；形成第一电极端子，该第一电极端子上电连接有暴露于所述感测堆的一侧面的所述第一导电层，并形成第二电极端子，该第二电极端子上电连接有暴露于所述感测堆的另一侧面的所述第二导电层；使除了所述感测堆的一侧面和另一侧面之外的其余侧面中的至少一个侧面上露出所述第一导电层和第二导电层，从而成为感测面，并在所述感测面上涂覆感应物质而形成传感器。

优选地，所述感测堆的一侧面、另一侧面和所述感测面可在上下方向上被切割或研磨。

优选地，所述第一导电层和第二导电层既可以相互重叠而层叠，也可以使埋设的端部分开而没有重叠。

优选地，可通过使所述第一导电层和第二导电层的长度各不相同，从而可以层叠为使所述第一导电层及第二导电层中的一部分相重叠而其余的不重叠。

优选地，还包括在所述感测面上贯穿整个层叠方向而形成狭缝的步骤。

优选地，可通过在所述感测面上形成凹槽或狭缝而使所述第一导电层及第二导电层均露出。

优选地，对露出的所述第一导电层和第二导电层的剖面进行镀覆而实现金属生长，并将所述感应物质涂覆于经所述金属生长的所述第一导电层和第二导电层各自的端部之间并进行平整化。