[发明专利]具有由掺杂硅墨水形成的掺杂表面触点的硅衬底和相应的方法

权利要求书

1.一种掺杂物来源组合物，其包含溶剂、玻璃/陶瓷前体组合物和选自由掺杂硅纳米粒子、掺杂二氧化硅纳米粒子或其组合组成的群组的掺杂粒子的掺合物，其中所述玻璃/陶瓷前体组合物包括玻璃/陶瓷氧化物、玻璃/陶瓷氮化物、玻璃/陶瓷碳化物或其组合的前体。

2.根据权利要求1所述的掺杂物来源组合物，其中所述玻璃/陶瓷前体组合物包含旋涂式玻璃组合物。

3.根据权利要求1所述的掺杂物来源组合物，其中所述玻璃/陶瓷前体组合物包含以热学方式转化为金属/类金属氧化物的溶胶-凝胶。

4.根据权利要求1所述的掺杂物来源组合物，其包含1重量％到40重量％的硅纳米粒子。

5.根据权利要求1所述的掺杂物来源组合物，其中所述溶剂包含醇。

6.根据权利要求1所述的掺杂物来源组合物，其中所述掺杂粒子包含掺杂硅粒子。

7.一种用于使硅衬底掺杂的方法，所述方法包含：

使根据权利要求1所述的掺杂物来源组合物沉积，以在所述硅衬底上形成掺杂沉积物；和

加热所述硅衬底以将所述掺杂物元素驱入所述硅衬底中。

8.根据权利要求7所述的方法，其进一步包含执行初始加热步骤，以使所述玻璃/陶瓷前体组合物固化。

9.根据权利要求7所述的方法，其进一步包含在执行所述掺杂物驱入后蚀刻所述硅衬底，以实质上去除剩余的贫化掺杂物来源组合物。