[发明专利]用于制造压电激励器部件的方法有效

专利信息
申请号: 201280013709.4 申请日: 2012-01-26
公开(公告)号: CN103503186A 公开(公告)日: 2014-01-08
发明(设计)人: O·德诺夫泽克;A·格拉祖诺夫 申请(专利权)人: 埃普科斯股份有限公司
主分类号: H01L41/43 分类号: H01L41/43;H01L41/273
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 杜荔南;胡莉莉
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 用于 制造 压电 激励 部件 方法
【权利要求书】:

1.用于制造压电激励器部件的方法,包括:

-提供压电激励器部件(1)的多个堆叠装置(100),其中堆叠装置(100)分别包括压电层(30)和导电层(10、20),并且其中压电层(30)在堆叠装置的纵向上彼此上下堆叠,并且导电层(10、20)布置在压电层(30)之间,

-在载体设备(200)上布置多个堆叠装置(100),使得堆叠装置(100)分别以堆叠装置的纵向并排平放地布置在载体设备(200)上,

-去粘合和/或烧结多个堆叠装置(100),其中堆叠装置(100)在去粘合和/或烧结期间在载体设备(200)上并排平放地布置。

2.根据权利要求1所述的方法,包括:

-提供多个容纳装置(300)用于容纳多个堆叠装置(100),其中每一个容纳装置具有支撑面(310)用于支撑多个堆叠装置(100)之一,其中支撑面具有开口(320),其中开口(320)在支撑面(310)中这样分布地布置,使得多个堆叠装置(100)之一的、由所述堆叠装置(100)之一以其位于支撑面(310)上的侧面(S100a)与来自容纳装置(300)的周围环境的气体接触,

-在容纳装置(310)中分别这样布置多个堆叠装置(100),使得所述堆叠装置(100)的相应侧面(S100a)位于支撑面(310)上,

-把处理气体供给所述堆叠装置(100)。

3.根据权利要求2所述的方法,包括:

-提供多个覆盖装置(400)用于覆盖多个堆叠装置(100),其中每一个覆盖装置具有支撑面(410)用于在多个堆叠装置(100)的每一个堆叠装置的另一个侧面(S100b)上支撑所述覆盖装置中的相应覆盖装置,其中支撑面(410)具有开口(420),其中开口(420)在支撑面(410)中这样分布,使得多个堆叠装置(100)中的每一个堆叠装置的另一个侧面(S100b)与来自覆盖装置(400)的周围环境的气体接触,

-在多个堆叠装置(100)上这样布置多个覆盖装置(400),使得所述覆盖装置(400)中的相应覆盖装置的支撑面(420)位于堆叠装置(100)之一的另一个侧面(S100b)上。

4.根据权利要求3所述的方法,

其中容纳装置(300)的支撑面(310)和覆盖装置(400)的支撑面(410)分别构造为合拢的网、格子或者穿孔的板材。

5.根据权利要求1至4之一所述的方法,

-其中多个堆叠装置(100)布置在多个载体设备(200)上,

-其中所述多个载体设备(200)在用于去粘合和/或烧结所述多个堆叠装置的炉(1000)中彼此上下堆叠地布置。

6.根据权利要求5所述的方法,

其中在彼此上下堆叠的载体设备(200)之间布置间隔保持器(700)。

7.根据权利要求1至6之一所述的方法,

其中覆盖设备(800)布置在载体设备(200)之上或者布置在多个彼此上下堆叠的载体设备(200)之上。

8.根据权利要求1至7之一所述的方法,包括:

-提供由多个扇形的载体元件(210)组成的结构形式的载体设备(200),

-在用于去粘合和/或烧结的炉(1000)中这样布置多个载体元件(210),使得载体设备(200)构造为圆环形的。

9.根据权利要求8所述的方法,包括:

在每一个载体元件(210)之上布置覆盖元件(900),其中该覆盖元件具有扇形的上部(910)和至少两个侧部(920),其中所述上部(910)与相应的载体元件(910)相间隔地布置,并且所述至少两个侧部(920)位于相应的载体元件(910)上。

10.根据权利要求3至9之一所述的方法,包括:

-提供具有由铜构成的表面涂层的载体设备(200),

-提供由铜构成的材料制成的多个容纳装置(300)和多个覆盖装置(400)。

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