[发明专利]用于制造压电激励器部件的方法有效
| 申请号: | 201280013709.4 | 申请日: | 2012-01-26 |
| 公开(公告)号: | CN103503186A | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
| 发明(设计)人: | O·德诺夫泽克;A·格拉祖诺夫 | 申请(专利权)人: | 埃普科斯股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L41/43 | 分类号: | H01L41/43;H01L41/273 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 杜荔南;胡莉莉 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 制造 压电 激励 部件 方法 | ||
1.用于制造压电激励器部件的方法,包括:
-提供压电激励器部件(1)的多个堆叠装置(100),其中堆叠装置(100)分别包括压电层(30)和导电层(10、20),并且其中压电层(30)在堆叠装置的纵向上彼此上下堆叠,并且导电层(10、20)布置在压电层(30)之间,
-在载体设备(200)上布置多个堆叠装置(100),使得堆叠装置(100)分别以堆叠装置的纵向并排平放地布置在载体设备(200)上,
-去粘合和/或烧结多个堆叠装置(100),其中堆叠装置(100)在去粘合和/或烧结期间在载体设备(200)上并排平放地布置。
2.根据权利要求1所述的方法,包括:
-提供多个容纳装置(300)用于容纳多个堆叠装置(100),其中每一个容纳装置具有支撑面(310)用于支撑多个堆叠装置(100)之一,其中支撑面具有开口(320),其中开口(320)在支撑面(310)中这样分布地布置,使得多个堆叠装置(100)之一的、由所述堆叠装置(100)之一以其位于支撑面(310)上的侧面(S100a)与来自容纳装置(300)的周围环境的气体接触,
-在容纳装置(310)中分别这样布置多个堆叠装置(100),使得所述堆叠装置(100)的相应侧面(S100a)位于支撑面(310)上,
-把处理气体供给所述堆叠装置(100)。
3.根据权利要求2所述的方法,包括:
-提供多个覆盖装置(400)用于覆盖多个堆叠装置(100),其中每一个覆盖装置具有支撑面(410)用于在多个堆叠装置(100)的每一个堆叠装置的另一个侧面(S100b)上支撑所述覆盖装置中的相应覆盖装置,其中支撑面(410)具有开口(420),其中开口(420)在支撑面(410)中这样分布,使得多个堆叠装置(100)中的每一个堆叠装置的另一个侧面(S100b)与来自覆盖装置(400)的周围环境的气体接触,
-在多个堆叠装置(100)上这样布置多个覆盖装置(400),使得所述覆盖装置(400)中的相应覆盖装置的支撑面(420)位于堆叠装置(100)之一的另一个侧面(S100b)上。
4.根据权利要求3所述的方法,
其中容纳装置(300)的支撑面(310)和覆盖装置(400)的支撑面(410)分别构造为合拢的网、格子或者穿孔的板材。
5.根据权利要求1至4之一所述的方法,
-其中多个堆叠装置(100)布置在多个载体设备(200)上,
-其中所述多个载体设备(200)在用于去粘合和/或烧结所述多个堆叠装置的炉(1000)中彼此上下堆叠地布置。
6.根据权利要求5所述的方法,
其中在彼此上下堆叠的载体设备(200)之间布置间隔保持器(700)。
7.根据权利要求1至6之一所述的方法,
其中覆盖设备(800)布置在载体设备(200)之上或者布置在多个彼此上下堆叠的载体设备(200)之上。
8.根据权利要求1至7之一所述的方法,包括:
-提供由多个扇形的载体元件(210)组成的结构形式的载体设备(200),
-在用于去粘合和/或烧结的炉(1000)中这样布置多个载体元件(210),使得载体设备(200)构造为圆环形的。
9.根据权利要求8所述的方法,包括:
在每一个载体元件(210)之上布置覆盖元件(900),其中该覆盖元件具有扇形的上部(910)和至少两个侧部(920),其中所述上部(910)与相应的载体元件(910)相间隔地布置,并且所述至少两个侧部(920)位于相应的载体元件(910)上。
10.根据权利要求3至9之一所述的方法,包括:
-提供具有由铜构成的表面涂层的载体设备(200),
-提供由铜构成的材料制成的多个容纳装置(300)和多个覆盖装置(400)。
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