[发明专利]用于转换表面声波的装置

说明书

技术领域

本发明的实施方式涉及用于转换表面声波的装置。

背景技术

尽管用于将表面声波转换为电信号的装置是已知的，但它们通常产生随着表面声波振幅而变化的交变电信号作为输出。

如果表面声波具有高频率，则输出电信号将以高频率的方式交变。这会使得输出信号的利用很困难，因为基于常规的硅的半导体设备不足以响应于高频率操作。

发明内容

根据本发明的多种但不必要是全部的实施方式，提供有一种装置，包括：压电基板，被配置为传播表面声波；以及转换器，耦合到所述压电基板并且包括被配置为将传播的表面声波转换为电信号的至少一个石墨电极。

根据本发明的多种但不必要是全部的实施方式，提供有一种装置，包括：压电基板，被配置为传播表面声波；转换器，耦合到所述压电基板并且被配置为将传播的表面声波转换为电势；以及地面基准电势节点，被配置为提供独立于所述表面声波的地电势，其中所述转换器包括具有依赖电场的导电性并且被配置为将传播的表面声波转换为电信号的二维电极。

根据本发明的多种但不必要是全部的实施方式，提供有一种装置，包括：压电基板，被配置为传播表面声波；转换器，耦合到所述压电基板，包括被配置为将传播的表面声波转换为电信号的至少一个电极；以及地电势基准节点，被配置为提供独立于所述表面声波的地电势基准，其中所述电极耦合到所述压电基板并且具有依赖于耦合的电场的导电性，以使得由传播的表面声波引起的、在所述压电基板处的变化的电场耦合到所述电极并且变化所述电极的所述导电性。

根据本发明的多种但不必要是全部的实施方式，提供有一种装置，包括：压电基板，被配置为传播表面声波；转换器，耦合到所述压电基板，并且被配置为将传播的表面声波转换为直流电势；以及地电势节点，被配置为提供独立于所述表面声波的地电势。

根据本发明的多种但不必要是全部的实施方式，提供有一种装置，包括：压电基板，被配置为传播表面声波；转换器，耦合到所述压电基板并且被配置为将传播的表面声波转换为输出直流电势。

附图说明

为了更好地理解本发明的实施方式的多种示例，现在将以仅示例的方式对附图进行参考，其中：

图1图示了装置的示例；

图2A图示了在时间的第一时刻的装置的示例；

图2B图示了在图示导电性如何随着图2A所示的装置的电场变化的绘图上，在时间的第一时刻石墨电极的导电性；

图3A图示了在时间的第二时刻的图2A的装置；

图3B图示了在图示导电性如何随着图3A所示的装置的电场变化的绘图上，在时间的第二时刻石墨电极的导电性；

图4图示了表面声波转换器的石墨电极的等同电路；

图5A图示了响应于传播的表面声波、由压电基板产生的电压的示例；

图5B图示了响应于图5A所示的电压的可能的输出信号的示意；

图6A图示了响应于传播的调节表面声波、由压电基板产生的电压的示例；

图6B图示了响应于图6A所示的电压的可能的调整输出信号的示意；

图7A图示了，在时间的第一时刻，具有宽的电极的表面声波转换器；

图7B图示了在时间的第二时刻具有宽的电极的装置；

图8、9和10图示了装置的不同实施方式，在其中表面声波转换器包括多个平行电极；以及

图11图示了包括装置的设备。

具体实施方式

附图图示了装置2，包括：压电基板4，被配置为传播表面声波6；以及转换器8，耦合到压电基板4，并且被配置为将传播的表面声波6转换为电信号11。

表面声波6是沿着展现弹性的材料的表面行进的声波。通常表面声波引起材料的点阵位移。当材料是压电基板4时，由表面声波引起的局部位移引起电势的局部变化。电势可以耦合到转换器8的电极10。电极10可以充电为没有跨电极10和压电基板4之间的接触面的自由电荷的转移的电容器的平板。

图1图示了装置2的示例。装置2包括在压电基板4上形成的石墨电极10。

压电基板被配置为在第一方向X中传播表面声波6。压电基板可以例如由石英、铌酸锂、钽酸锂、硅酸锌等形成。

在该示例中，石墨电极10在正交于第一方向X的第二方向Y中纵向延伸。电极10电容耦合到压电基板4并且将传播的表面声波6转换为电信号11。