[发明专利]弹簧结构、振荡器、振荡器阵列和传感器

权利要求书

1.一种弹簧结构(501)，其特征在于具有在第一方向上通过弹簧(Sh1，Sh2)被耦接成反相振荡器的至少两个质量块(Ma，Mb)，所述弹簧(Sh1，Sh2)经由环形结构(L，E)连接到所述质量块(Ma，Mb)，所述环形结构(L，E)位于与所述环形结构(L，E)的耦接点相连接的所述弹簧(Sh1，Sh2)之间，其中，倾斜弹簧(SI45，Sr45)从所述环形结构(L)的所述耦接点连接到基座的固定器(A)，使得所述环形结构(L)的纵向运动以垂直于或大体上垂直于所述第一方向的方式布置，从而减弱所述质量块(Ma，Mb)的反相振荡之外的反相振荡。

2.如权利要求1所述的弹簧结构，其特征在于，所述倾斜弹簧(SI45，Sr45)相对于所述环形结构(L)对称。

3.如权利要求1或2所述的弹簧结构，其特征在于，所述倾斜弹簧(SI45，Sr45)具有相同的弹簧常数。

4.如权利要求1、2或3所述的弹簧结构，其特征在于，所述倾斜弹簧(SI45，Sr45)具有相同的化学和/或结构成分。

5.如前述权利要求中任一项所述的弹簧结构，其特征在于，所述倾斜弹簧(SI45，Sr45)在长度、宽度和厚度中的至少一个方面具有共同的尺寸。

6.一种双差动弹簧结构，其具有两个如权利要求1所述的弹簧结构(901，902)，所述弹簧结构(901，902)通过连接用刚性构件C而被耦接成反相振荡器。

7.一种振荡器，其特征在于具有至少一个如前述权利要求中任一项所述的弹簧结构。

8.一种振荡器阵列，其特征在于具有至少一个如权利要求7所述的振荡器。

9.一种传感器，其特征在于具有至少一个如权利要求7或8所述的振荡器。

10.一种传感器系统，其特征在于具有至少一个如权利要求9所述的振荡器。