[发明专利]多层隔膜

说明书

技术领域

本发明涉及用于流体控制和液体馈送的装置，尤其涉及用于通过隔膜的变形进行液体馈送的隔膜泵和控制阀这样的流体设备（流体装置）的多层隔膜。

背景技术

现在，提出了用于高效液相色谱法（High performance liquid chromatography）的各种液体馈送泵。例如提出了如下的液体馈送泵：柱塞方式（plunger）（专利文献1）或通过压电元件对隔膜进行驱动的压电方式（专利文献2）等。由于对隔膜进行驱动的压电方式不具有如柱塞方式的滑动部分，因此不产生颗粒，从而具有可以提供寿命长的液体馈送泵的优点。对隔膜进行驱动的压电方式以隔膜的故障探测为目的，也提出具有用于故障探测的层的多层隔膜（专利文献3、4）。另一方面，近年来，对于高效液相色谱法，需要在分析过程中对高压下的微小流量进行控制。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国专利申请公开公报“特开2007-292011号”

专利文献2：日本国专利申请公开公报“特开2006-118397号”

专利文献3：日本国专利申请公开公报“特开2007-515584号”

专利文献4：日本国专利申请公开公报“特表平06-506998号”

发明内容

发明要解决的问题

但是，本发明的发明人为了满足高效液相色谱法中的高压化的要求，增加金属制隔膜的厚度以提高耐压性时，存在阻碍隔膜平滑地变形，难以进行细微动作的问题。隔膜的弯曲刚性以隔膜厚度的三次方增长，因而阻碍了隔膜平滑地变形。针对本问题，发明人考察了为了兼顾细微动作的操作性和耐压性，层叠薄隔膜板的方法。但是，在该方法中，发明人发现隔膜的分解和清洗复杂，隔膜特性在每次分解等的时候发生变动的问题。这是由于多层隔膜在分解和清洗的过程中互相分离，清洗后安装时层叠状态变化的缘故。进一步，发明人发现这样的问题，不仅在液体馈送泵中，在使用隔膜的装置中也是共通的问题。

本发明是为了解决上述现有问题的至少一部分而做出的，其目的在于提供兼顾操作性和耐压性的同时且具有优良的维修性的液体设备用多层隔膜。

下面，关于解决上述技术问题的有效的方案等，根据需要，示出效果等的同时进行说明。

方案1.一种用于安装在流体设备中的多层隔膜，具备：多层金属制的板材；以及粘合层，将所述多层金属制的板材互相粘合起来，所述粘合层具有弹性层，该弹性层具有使所述多层金属制的板材在其面内方向上相互错开的方向的弹性。

根据本方案，第一，由于多层多层金属的板材互相粘合在一起，所以能够提高耐压性。即由于耐压性是依赖于金属制的板材面内方向（长度方向）的拉伸强度，所以该多层隔膜的耐压性实质上与单层具有两倍厚度的金属制板材相同。

第二，由于多层金属制的板材通过弹性层互相粘合起来，该弹性层具有使所述多层金属制的板材在其面内方向上相互错开的方向的弹性，所以可以避免弯曲刚性过大。由于多层金属制板材通过具有在其面内方向的互相错开的方向的弹性的弹性层互相粘合起来，所以本多层隔膜能够具有与互相不粘合的多层金属制的板材相近的弯曲刚性。

根据本发明的多层隔膜，由于本多层隔膜在隔膜的分解和清洗中不必分解，所以提高了维护性，而且还可以解决清洗后再安装时层叠状态变化的问题。进而，本多层隔膜虽然为了确保耐压性增加了厚度，但是可以避免由于厚度增加而引起的弯曲刚度过大的问题，因此可以提高微细动作的精度。

方案2.根据方案1所述的多层隔膜，所述多层隔膜还具备金属制的安装用板材，所述安装用板材的比所述多层金属制的板材向外缘方向突出的位置具有安装部，该安装部用于所述安装用板材对所述流体设备的安装。

在方案2中，由于安装用板材的比多层金属制的板材向外缘方向突出的位置具有安装部，该安装部用于所述安装用板材对所述流体设备的安装，所以与没有安装部的板材相比，可以省略了安装部在安装时的材料消耗，避免无意义的材料消耗。

方案3.根据方案2所述的多层隔膜，在所述安装用板材的两面分别粘贴有所述金属制的板材。

在方案3中，由于安装用板材的两面分别粘贴有金属制板材，所以多层金属制的板材的变形部分被高弹性、强度、耐腐蚀性、耐热性及恒弹性优异的材料覆盖。而且，金属制板材夹着安装用板材可以使两侧的强度等接近均等。

方案4.根据方案3所述的多层隔膜，在所述安装用板材的每一面分别设置有数目相等的所述多层金属制的板材。