[发明专利]一种减速场扫描式电子显微镜以及减速场扫描式电子显微镜中采用活动刀片的切片机包括相同的切片机

权利要求书

1.一种可现场安装在扫描式电子显微镜成像室内的切片机，其中所述显微镜包括一高压下产生减速场的试样夹具、一置于临近试样夹具的反向散射电子检测器和一切片机，所述切片机包含一刀片，所述刀片与试样夹具上的试样接触以切除一小部分试样并暴露出试样新切面，所述刀片的安装方式应保证切割试样并暴露出试样新切面之后可退回至不干扰减速场的位置。

2.如权利要求1所述的切片机，其中所述刀片包含一高阻抗材料。

3.如权利要求2所述的切片机，其中所述高阻抗材料为金刚石。

4.如权利要求1所述的切片机，其中所述刀片安装在回转臂上的刀架上。

5.如权利要求1所述的切片机，其中所述刀片安装在直线运动臂上的刀架上。

6.如权利要求1所述的切片机，其中所述试样夹具设置为以预定距离连续朝刀片移动，使刀片接触一部分试样，使切片连续形成试样图像。

7.如权利要求1所述的切片机，其中所述试样夹具与切片机剩余部分绝缘，切片机保持在地电位上。

8.一种扫描式电子显微镜，其包括一成像室、一高压下产生减速场的试样夹具、一置于临近试样夹具的电子检测器和一切片机，所述切片机包含一刀片，所述刀片与试样夹具上的试样接触以切除一小部分试样并暴露出试样新切面。所述刀片的安装方式应保证切割试样并暴露出试样新切面之后可退回至不干扰减速场的位置。

9.如权利要求8所述的扫描式电子显微镜，其中所述电子检测器包括一反向散射检测器。

10.如权利要求8所述的扫描式电子显微镜，其中所述减速场施加在试样或试样夹具上。

11.如权利要求8所述的扫描式电子显微镜，其中所述减速场施加在附近网格/环/护罩结构上。

12.如权利要求8所述的扫描式电子显微镜，其中所述刀片包含一高阻抗材料。

13.如权利要求12所述的扫描式电子显微镜，其中所述高阻抗材料为金刚石。

14.如权利要求8所述的扫描式电子显微镜，其中所述刀片安装在回转臂上的刀架上，刀架设计为不会干扰施加在试样上的高压。

15.如权利要求8所述的扫描式电子显微镜，其中所述刀片安装在直线运动臂的刀架上，刀架设计为不会干扰施加在试样上的高压。

16.如权利要求8所述的扫描式电子显微镜中，其中所述试样夹具设置为以预定距离连续朝刀片移动，使刀片接触一部分试样，使切片连续形成试样图像。

17.如权利要求8所述的扫描式电子显微镜，其中所述试样夹具与切片机剩余部分绝缘，切片机保持在地电位上。